SUPERSCAN V 和 IV 系列是高性能两轴激光扫描振镜，代表行业顶尖的数字控制技术。其采用20位高分辨率编码器，实现超精密光束定位与极低噪声，确保卓越的动态性能和长期稳定性。系列产品提供多种孔径、反射镜材质（SC/SiC、QU/石英）及专业镀膜，全面兼容从紫外到红外的主流激光器与高功率应用。专为微加工、标记、焊接、切割及半导体加工等高端领域设计，以其锐利的边角处理、高速扫描和优异的可靠性，成为追求极致精度与效率的工业激光系统的理想选择。
我们一站式供应各种类型的激光扫描振镜，激光打标头，打标扫描头，激光振镜扫描头，打标机用扫描头，振镜打标头，激光打标镜头，可提供选型、技术指导、安装培训、个性定制等全生命周期、全流程服务，欢迎联系我们的产品经理！
全数字反馈控制，快速且精确
激光束定位分辨率高达20bit，SL2-100协议
数字编码器技术带来的最小化温漂和极低噪声
极佳的加速和精确的激光引导带来锐利的边角效果
可记录和诊断全部特性
输入孔径: 15mm
优势
SUPERSCAN V的全数字反馈控制电路提供了极佳的动态性能，并且可以连续监测反射镜位置和速度等参数。取决于使用的协议(SL2-100或XY2-100)，反射镜能够以至多20bit的分辨率进行定位。得益于数字电机的高加速特性和最高速度，SUPERSCAN V能够非常快而精准的实现锐利边缘图形的扫描。
可配置选项
透镜、轻质碳化硅以及石英反射镜适用于所有常见的激光器种类、波长、功率等级、焦距和工作幅面。电子控制系统也支持额外的控制参数设置(调校选项)。我们乐于为您提供适合您应用的优化配置。
典型应用
SUPERSCAN V是各种要求最高精度的高端激光加工应用的理想选择。通过反射镜的数字反馈控制定位持续保证精度。特别是如标记、焊接、钻孔或半导体晶圆成型、医疗产品和安装文档芯片(卡等激光加工应用均受益于SUPERSCAN V的速度和精度)。
创新与品质
在RAYLASE，创新与保持产品的高品质水准是我们的首要目标。我们所有的产品是在自己的实验室和生产车间研发、制造和测试的。通过我们的全球支持网络，能够为客户提供良好的维护与快速支持服务。
通用规格
| 项目 | 参数 |
| 电源电压 | 30V或48V |
| 电源电流 | 2A RMS, 最大5A |
| 纹波 | 最大200mV/pp, @20MHz带宽 |
| 环境温度 | +15°C至+35°C |
| 湿度 | ≤80%无结露 |
| IP防护等级 | 65 |
| 接口信号 | 数字：XY2-100-增强协议、S12-100协议 |
| 典型偏转角 | ± 0.393 rad |
| 分辨率 XY2-100-E 16-Bit | 12 µrad |
| 分辨率 SL2-100 20-Bit | 0.76 µrad |
| 重复定位精度 (RMS) | < 2.0 µrad |
| 位置噪声 (RMS) | < 4.5 μrad |
| 最大增益漂移¹ | 8 ppm/K |
| 最大位置漂移¹ | 15 µrad/K |
| 8小时长期漂移，无水冷 | < 50 µrad |
| 8小时长期漂移，有水冷 | < 30 µrad |
机械参数
| 项目 | 参数 |
| 扫描振镜 | SUPERSCAN V |
| 输入孔径 [mm] | 15 |
| 光束位移 [mm] | 18.27 (SC), 18.33 (QU) |
| 重量(不带透镜) [kg] | 约3.2 |
| 尺寸(L×W×H) [mm] | 170.0×125.0×117.5 |
反射镜种类
| 波长 | 材质 |
| 355 nm | SC, QU |
| 405 nm | QU |
| 532 nm | SC, QU |
| 1,064 nm | SC, QU |
| 10,600 nm | SC |
| AG (金反射镜) | SC |
调校
| 调校类型 | 描述 |
| 微加工调校 | 针对实现锐利的高精度光束偏转和最小化追踪误差优化 |
动态参数
| 型号 | SUPERSCAN V-15-QU | SUPERSCAN V-15-SC |
| 反射镜类型 | QU | SC |
| 调校 | 微加工 | 微加工 |
| 写入速度 [cps] | 600 | 800 |
| 加工速度 [rad/s] | 30 | 30 |
| 定位速度 [rad/s] | 30 | 30 |
| 追迹误差 [ms] | 0.18 | 0.14 |
| 1%全行程阶跃响应时间 [ms] | 0.55 | 0.45 |
详情资料:SUPERSCAN-V-15
数字控制，高动态性能，多用途
通过20位SL2-100协议或16位XY2-100协议控制
得益于数字PWM输出级，极大地降低了功耗和热量
快速动态响应和高速度得以最大化生产效率，特别适合MOTF加工
针对不同应用的多种反射镜基底和镀膜
输入孔径：Φ 30 mm
优势
SUPERSCAN IV振镜提供了极快的动态响应和速度，与我们I模组配合特别适合MOTF应用(飞行加工与标刻)。坚固的水冷外壳设计，搭配可选配的空气冷却组件，使之能够承受高达6kW的激光功率。
可选配置
透镜、保护窗以及反射镜材质和镀膜适用于所有常见的激光器种类、波长、功率密度、焦距和工作幅面。电子控制系统也支持额外的控制参数设置(调校选项)。我们乐于为您提供最适合您应用的SUPERSCAN IV优化配置。
典型应用
SUPERSCAN IV是RAYLASE针对极高速度和快速动态响应要求的材料激光加工应用推出的理想解决方案。SUPERSCAN IV特别适合划线、钻孔、包装行业中的塑料和纸板切割以及电子元件标刻。数字控制和强大的PWM输出级技术保证了振镜的速度和动态响应。结合我们的高功率相机适配器，安装在机器人和光门系统上的SUPERSCAN IV搭配可选加工监测组件，是理想的远程焊接解决方案。
创新与品质
在RAYLASE，创新与保持产品的高品质是我们的首要目标。我们所有的产品是在自己的实验室和生产车间研发、制造和测试的。通过我们的全球支持网络，能够为客户提供最好的维护与快速支持服务。
通用规格
| 电压 | 30 V 或 48 V |
| 电流 | 2 A RMS, 最大 5 A |
| 电流 | 最大 200 mVpp, @20 MHz带宽 |
| 环境温度 | +15°C 至 +35°C |
| 储存温度 | -10°C 至 +60°C |
| 湿度 | ≤ 80 % 无结露 |
| 外壳IP防护等级 | 64 |
| 接口信号 | XY2-100 增强协议, SL2-100协议 |
| 典型偏转角 | ± 0.393 rad |
| 分辨率 XY2-100-E 16-Bit | 12 µrad |
| 分辨率 SL2-100 20-Bit | 0.76 µrad |
| 重复定位精度 (RMS) | < 2.0 µrad |
| 定位噪声 (RMS) | < 3.2 μrad |
| 最大增益漂移 | 15 ppm/K |
| 最大位置漂移¹ | 10 µrad/K |
| 8小时长期稳定性，无水冷 | < 60 µrad |
| 8小时长期稳定性，有水冷 | < 40 µrad |
机械参数
| 型号 | SUPERSCAN IV |
| 输入孔径 [mm] | 30 |
| 光束位移 [mm] | 36.0 (SI, SC), 35.4 (QU) |
| 重量(无透镜) [kg] | 约 5.5 |
| 不锈钢外壳 [kg] | 约 12.0 |
| 尺寸 (L x W x H) [mm] | 203.0 x 159.0 x 150.0 |
反射镜类型
| 波长 | 材质 |
| 420 nm - 480 nm | QU |
| 425 nm - 465 nm + AL | QU |
| 515 nm | SC |
| 515 nm - 532 nm + AL | QU |
| 900 nm - 1,100 nm + AL | QU, SC |
| 1,064 nm | SC, QU |
| 1,020 nm - 1,040 nm (高功率镀膜 > 3 kW) | QU |
| 1,060 nm - 1,080 nm (高功率镀膜 > 3 kW) | QU |
| 1,060 nm - 1,090 nm + AL | SC |
| 10,600 nm | SC |
调校
| 调校 | 描述 |
| 快速向量调校 (VC) | 针对常见应用进行的优化调校，注重加工速度 |
| 快速向量调校 (FV) | 结合高动态性能和高速的优化调校 |
动态参数
| 型号 | SUPERSCAN IV-30-QU | SUPERSCAN IV-30-SC | ||||
| 调校 | 向量 | 向量 | 快速向量 | |||
| 加工速度 [rad/s] | 30 @ 30 V | 50 @ 48 V | 40 @ 30 V | 65 @ 48 | 30 @ 30 V | 50 @ 48 V |
| 定位速度 [rad/s] | 30 @ 30 V | 50 @ 48 V | 40 @ 30 V | 65 @ 48 V | 30 @ 30 V | 50 @ 48 V |
| 追迹误差 [ms] | 0.48 | 0.30 | 0.24 | |||
| 1%全行程阶跃响应时间 | 1.2 | 0.8 | 0.65 | |||
空气冷却
| 压缩空气 | 洁净空气，去水去油 |
| 流量 | 50 – 100 l/min |
| 压降 | 1.0 bar – 1.5 bar |
水冷控制
| 冷却水 | 加添加剂的洁净自来水 |
| 温度 | 22°C – 28°C |
| 最大水压 | < 3 bar |
| 流量 | 2 l/min、4 l/min、6 l/min |
| 压降 | 0.4 bar、0.8 bar、1.2 bar |
详情资料:SUPERSCAN-IV-30
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