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激光扫描振镜 SCANcube

激光扫描振镜 SCANcube

时间:2025-08-25 类别:激光设备配件 关注:2

高性能紧凑型设计,高速精密,支持回读,适用于打标、微加工与3D打印

SCANcube系列是高动态性能扫描振镜的卓越代表,以其坚固密封的紧凑型设计著称。该系列提供7mm至14mm多种光孔径及模拟/数字接口选择,完美适配从激光打标、微结构加工到半导体材料处理乃至增材制造(3D打印)等广泛工业应用。其卓越的动态性能确保了高速打标与精准定位,同时可选的实际位置与温度回读功能为闭环控制与过程监控提供了强大支持。SCANcube是实现高效率、高精度激光加工的可靠核心部件,性价比出众。

我们一站式供应各种类型的高精度扫描振镜,激光扫描系统,SCANahead控制,振镜系统,激光扫描振镜,振镜打标头,激光打标镜头,打标扫描头,激光振镜扫描头,可提供选型、技术指导、安装培训、个性定制等全生命周期、全流程服务,欢迎联系我们的产品经理!

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SCANcube系列将坚固紧凑的设计与诱人的价格性能比相结合。它是标准和严苛激光应用的最佳选择。

    扫描振镜

主要特点

  • 紧凑轻量设计

  • 坚固、密封外壳

  • 高动态性能

  • 多种镜片镀膜选择

  • 可选:实际位置、温度和状态值的回读功能

我们多功能扫描头系列的最新一代现在也可提供回读功能。

典型应用

  • 打标任务

  • 半导体行业材料加工

  • 微结构加工

  • 飞行加工

  • 增材制造(3D打印)

    扫描振镜

型号SCANcubeSCANcube IIISCANcube IV
孔径7 mm, 10 mm10 mm, 14 mm10 mm, 14 mm
接口模拟, 数字模拟, 数字数字
控制模拟模拟数字
振镜dynAXISdynAXIS 3dynAXIS 3
调谐Fast-VectorFast-VectorFast-Vector
Sharp-Edge
Line Scan
回读功能

典型规格

型号SCANcube 7SCANcube 10SCANcube III
10mm
SCANcube IV
10mm
SCANcube III
14mm
SCANcube IV
14mm
孔径 [mm]71010101414
跟踪误差 [ms0.140.160.120.120.150.15
打标速度 [m/s]2.52.03.03.02.02.5
定位速度 [m/s]15.010.016.020.814.014.4
良好书写质量 [cps]900640925950740750
高书写质量 [cps]600400500700500540
阶跃响应时间满量程1% [ms]0.250.40.30.30.350.35
阶跃响应时间满量程10% [ms]0.71.20.80.80.91.2

精度与稳定性

型号SCANcube 7/10SCANcube IIISCANcube IV
重复性 (RMS)< 2< 2< 2
定位分辨率 [位]161616
非线性度 < 3.5 mrad< 0.9 mrad< 0.7 mrad
温度漂移偏置 [μrad/K]< 30< 25< 20
温度漂移增益 [ppm/K]< 80< 25< 20
8小时漂移 (预热30分钟后)< 0.3 mrad

8小时漂移偏置 [μrad]
< 100< 50
8小时漂移增益 [ppm]
< 100< 50

通用规格

型号SCANcube/SCANcube IIISCANcube IV
典型扫描角度 [rad]± 0.35± 0.35
增益误差< 5< 5
零位偏移< 5< 5
电源要求± 15 V DC, 最大各 3 A24 V DC, 30 V DC, 最大各 3 A
数字版本SL2-100 或 XY2-100SL2-100 或 XY2-100
模拟版本± 4.8 V-
IP 防护等级IP 50, IP 66 IP 50, IP 66 
工作温度 [°C]25 ± 1025 ± 10

详情资料:扫描振镜 SCANcube

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