SUPERSCAN IV系列是高端工业级两轴激光扫描振镜系统，包含10mm、15mm、20mm和30mm多种输入孔径型号，以及专为太阳能电池加工的SOLAR版本。全系列采用数字PWM控制技术，兼容XY2-100和SL2-100协议，提供200 rad/s的高速扫描和±15μm的高精度表现。配备水冷和空气冷却选项，可支持2kW至6kW高功率激光应用，具有优异的动态响应和长期稳定性。广泛应用于激光打标、切割、焊接、微加工、太阳能电池加工、增材制造和远程焊接等领域，满足各种精密工业加工需求。
我们一站式供应各种类型的激光扫描振镜，激光打标头，打标扫描头，激光振镜扫描头，打标机用扫描头，振镜打标头，激光打标镜头，可提供选型、技术指导、安装培训、个性定制等全生命周期、全流程服务，欢迎联系我们的产品经理！
动态、快速和稳定
通过20位SL2-100协议或16位XY2-100协议控制
得益于数字PWM输出级大幅降低了功耗和热能产生
快速动态响应和高速度促进生产效率
多种调试模式和镜片镀膜，适用于各种应用
输入孔径: 10 mm
优势
SUPERSCAN IV-10模组化数字控制技术提供了极强的动态响应和速度，在打标以及非常快速但是精准的成型、切割和钻孔等应用中真正发挥作用。坚固耐用的水冷外壳设计保证了即使在频繁改变光束方向和高跳转的情况下，也能保持稳定、低漂移的运行。
可配置选项
透镜、保护窗以及反射镜材质和镀膜适用于所有常见的激光器种类、波长、功率密度、焦距和工作幅面。这些多轴加工应用得以获得优质质量和加工效率。我们也乐于帮助您选择适合您应用的最优化配置。
典型应用
SUPERSCAN IV-10的应用范围包括打码、FPC结构切割以及铜箔的切割钻孔。由于采用了数字控制和强大的PWM输出级，速度和动态响应得到了保证。当与我们的相机适配器和MVC组件相结合时，SUPERSCAN IV-10就成为了理想的过程精密监控工具。
创新与品质
在RAYLASE，创新与保持产品的高品质水准是我们的首要目标。我们所有的产品是在自己的实验室和生产车间研发、制造和测试的。通过我们的全球支持网络，能够为客户提供良好的维护与快速支持服务。
通用规格
| 电压 | 30 V 或 48 V |
| 电流 | 2 A RMS, 最大 5 A |
| 纹波/噪音 | 最大 200 mVpp, @20 MHz带宽 |
| 接口信号数字 | XY2-100-增强协议, SL2-100协议 |
| 环境温度 | +15°C 至 +35°C |
| 存储温度 | -10°C 至 +60°C |
| 湿度 | ≤ 80 % 无结露 |
| 外壳防护等级 | 64 |
| 典型偏转角 | ± 0.393 rad |
| 分辨率 XY2-100-E 16-Bit | 12 µrad |
| 分辨率 SL2-100 20-Bit | 0.76 µrad |
| 重复定位精度 (RMS) | < 2.0 µrad |
| 位置噪声 (RMS) | < 4.5 μrad |
| 最大增益漂移¹ | 15 ppm/K |
| 最大位置漂移¹ | 10 µrad/K |
| 8小时长期漂移，无水冷 | < 60 µrad |
| 8小时长期漂移，有水冷 | < 40 µrad |
水冷控制
| 冷却水 | 加添加剂的洁净自来水 |
| 温度 | 22°C – 28°C |
| 最大水压 | < 3 bar |
| 流量 | 2 l/min、4 l/min、6 l/min |
| 压降 | 0.4 bar、0.8 bar、1.2 bar |
机械参数
| 扫描振镜 | SUPERSCAN IV |
| 输入孔径 [mm] | 10 |
| 光束位移 [mm] | 12.5 (SI) |
| 重量 (无透镜) [kg] | 约 3.2 |
| 尺寸 (L x W x H) [mm] | 170.0 x 125.0 x 117.5 |
反射镜类型
| 波长 | 材质 |
| 355 nm | SI |
| 532 nm | SI |
| 1,064 nm | SI |
动态参数
| 型号 | SUPERSCAN IV-10-SI | |
| 调校模式 | VC | M |
| 加工速度 [rad/s] | 50 @ 30 V 80 @ 48 V | 30 @ 30 V 30 @ 48 V |
| 定位速度 [rad/s] | 50 @ 30 V 80 @ 48 V | 30 @ 30 V 30 @ 48 V |
| 追迹误差 [ms] | 0.12 | 0.10 |
| 1%全行程阶跃响应时间 [ms] | 0.33 | 0.41 |
调校
| 调校模式 | 描述 |
| 向量调校 (VC) | 针对常见应用进行的优化调校，注重加工速度 |
| 微加工调校 (M) | 针对具有锐利拐角和最小追迹误差的高精度光束偏转进行的优化调校 |
详情资料:SUPERSCAN-IV-10
动态性能佳，速度快，多功能
通过20位SL2-100协议或16位XY2-100协议控制
得益于数字PWM输出级，极大的降低了功耗和热量
快速动态响应和高速度促进生产效率
针对不同应用，提供相应的调校方式，镜片材质和镀膜涂层
输入孔径: 15 mm
优势
SUPERSCAN IV-15 的模组化数字控制技术提供了极高的动态性能和高达75rad/s的速度，从而满足极快速度极高精度扫描应用的要求。坚固的水冷外壳设计，搭配石英反射镜，能够承受激光功率高达2 kW。
可选配置<<>
透镜、保护窗以及反射镜材质和镀膜适用于所有常见的激光器种类、波长、功率密度、焦距和工作幅面。这些多种加工应用得以获得优质质量和加工效率。我们乐于为您提供适合您应用的SUPERSCAN IV定制化配置。我们也乐于帮助您选择适合您应用的最优化配置。
典型应用
SUPERSCAN IV-15 特别适合晶圆工成型，增材制造中的填冲应用，摆动焊接以及电子元件的标刻。数字控制和强大的PWM输出级技术保证了振镜的速度和动态响应。配合我们的相机适配器和机器视觉组件，SUPERSCAN IV-15也是精确加工监控的理想工具。
创新与品质
在RAYLASE，创新与保持产品的高品质是我们的首要目标。我们所有的产品是在自己的实验室和生产车间研发、制造和测试的。通过我们的全球支持网络，能够为客户提供最好的维护与快速支持服务。
通用规格
| 电压 | 30V或48V |
| 电流 | 2A RMS,最大5A |
| 纹波/噪音 | 最大200 mVpp, @20 MHz带宽 |
| 环境温度 | +15℃至+35℃ |
| 储存温度 | -10℃至+60℃ |
| 湿度 | ≤80%无结霜 |
| 外壳防护等级 | 64 |
| 接口信号数字 | XY2-100-增强协议, SL2-100协议 |
| 典型偏转角 | ± 0.393 rad |
| 分辨率 XY2-100-E 16-Bit | 12 µrad |
| 分辨率 SL2-100 20-Bit | 0.76 µrad |
| 重复定位精度 (RMS) | < 2.0 µrad |
| 位置噪声 (RMS) | < 4.5 μrad |
| 最大增益漂移¹ | 15 ppm/K |
| 最大位置漂移¹ | 10 µrad/K |
| 8小时长期漂移，无水冷 | < 60 µrad |
| 8小时长期漂移，有水冷 | < 40 µrad |
反射镜类型
| 波长 | 材质 |
| 355 nm | QU |
| 532 nm | QU, SI |
| 1,030 nm | SC |
| 1,064 nm | QU, SI, SC |
| 1,060 nm ~ 1,080 nm(高功率镀膜) | QU |
| 10,600 nm | SI, SC |
机械参数
| 型号 | SUPERSCAN IV |
| 输入孔径 [mm] | 15 |
| 光束位移 [mm] | 18.1 (QU, SI) / 18.0 (SC) |
| 重量（含透镜）[kg] | 约 3.2 |
| 尺寸 (L×W×H) [mm] | 170.0 × 125.0 × 117.5 |
调校模式
| 调校 | 描述 |
| 快速进给调校 (VC) | 适用于常见应用，注重加工速度 |
| 清洗调校 (C) | 适用于长焦高速扫描 |
| 填充调校 (H) | 适用于高精度填充和光束偏转 |
动态参数
| 扫描振镜 | SUPERSCAN IV-15-QU | SUPERSCAN IV-15-SI | SUPERSCAN IV-15-SC | ||
| 调校 | VC | C | VC | VC | H |
| 加工速度 [rad/s] | 45 @ 30 V 50 @ 48 V | - 200 @ 48 V | 50 @ 30 V 65 @ 48 V | 55 @ 30 V 75 @ 48 V | 30 @ 30 V 30 @ 48 V |
| 定位速度 [rad/s] | 45 @ 30 V 50 @ 48 V | - 200 @ 48 V | 50 @ 30 V 65 @ 48 V | 55 @ 30 V 75 @ 48 V | 30 @ 30 V 30 @ 48 V |
| 追迹误差 [ms] | 0.19 | 0.30 | 0.16 | 0.14 | 0.12³ |
| 1%全行程阶跃响应时间 [ms] | 0.49 | 0.65 | 0.43 | 0.37 | 0.47 |
详情资料:SUPERSCAN-IV-15
数字控制，高动态性能，多用途
通过20位SL2-100协议或16位XY2-100协议控制
得益于数字PWM输出级，极大的降低了功耗和热量
最大化生产效率的高动态响应和高速度，特别适合增材制造
针对不同应用的多种反射镜基材和镀膜
输入孔径: 20 mm
优势
SUPERSCAN IV-20的模组化数字控制技术提供了极高的动态响应和速度，从而满足极快速度极高精度扫描应用的要求。坚固的水冷外壳设计，搭配石英反射镜，能够承受激光功率高达3 kW。
可配置选项
透镜、保护窗以及反射镜材质和镀膜适用于所有常见的激光器种类、波长、功率密度、焦距和工作幅面。这些参数加工应用得以获得优质质量和加工效率。我们乐于为您提供最适合您应用的SUPERSCAN IV定制化配置。我们也乐于帮助您选择适合您应用的最优化配置。
典型应用
SUPERSCAN IV-20振镜不仅特别适合微焊接和振动焊接，也适合电子元件的标刻。数字控制和强大的PWM输出级技术保证了振镜的速度和动态响应。配合我们的相机适配器和机器视觉组件，SUPERSCAN IV-20是精确加工监控的理想工具，也是增材制造应用的理想选择。
创新与品质
在RAYLASE，创新与保持产品的高品质水准是我们的首要目标。我们所有的产品是在自己的实验室和生产车间研发、制造和测试的。通过我们的全球支持网络，能够为客户提供最好的维护与快速支持服务。
通用规格
| 电压 | ±30V 或 ±48V |
| 电流 | 2A RMS, 最大5A |
| 纹波/噪音 | 最大200 mVpp, @20 MHz带宽 |
| 环境温度 | +15°C至+35°C |
| 存储温度 | -10 °C至+60 °C |
| 湿度 | ≤80 %无结霜 |
| IP防护等级 | 64 |
| 接口信号 | XY2-100-增强协议 SL2-100协议 |
| 典型偏转角 | ± 0.393 rad |
| 分辨率 XY2-100-E 16-Bit | 12 urad |
| 分辨率 SL2-100 20-Bit | 0.76 urad |
| 重复定位精度 (RMS) | ≤2.0 urad |
| 定位误差 (RMS) | ≤3.2 urad |
| 最大增益漂移 | 15 ppm/K |
| 最大位置漂移 | 10 urad/K |
| 8小时长周期稳定性，无水冷 | ≤60 urad |
| 8小时长周期稳定性，有水冷 | ≤40 urad |
机械参数
| 型号 | SUPERSCAN IV-20 QU / SI / SC |
| 输入孔径 (mm) | 20 |
| 光束位移 (mm) | 26.0 |
| 重量(无透镜) (kg) | 约5.5 |
| 尺寸(L x W x H) (mm) | 203.0 x 159.0 x 150.0 / 160.5¹ |
反射镜类型
| 波长 | 材质 |
| 355 nm | QU |
| 532 nm | QU, SC |
| 1,064 nm | QU, SC |
| 10,600 nm | Si, SC |
调校
| 调校 | 描述 |
| 向量调校 (VC) | 针对常见应用进行优化调校，注意高加工速度；其它调校可选 |
动态参数
| 扫描振镜 | SUPERSCAN IV-20 QU | SUPERSCAN IV-20 SC | SUPERSCAN IV-20 SI |
| 调校 | VC | VC | VC |
| 加工速度 (rad/s) | 45 @ 30 V 50 @ 48 V | 50 @ 30 V 75 @ 48 V | 45 @ 30 V 60 @ 48 V |
| 定位速度 (rad/s) | 45 @ 30 V 50 @ 48 V | 50 @ 30 V 75 @ 48 V | 45 @ 30 V 60 @ 48 V |
| 追迹误差 (ms) | 0,28 | 0,20 | 0,25 |
| 1%全行程阶跃响应时间 (ms) | 0,70 | 0,50 | 0,62 |
水冷控制
| 冷却水 | 加添加剂的洁净自来水 |
| 温度 | 22°C ~ 28°C |
| 最大水压 | ≤3 bar |
| 流量 | 2 l/min、4 l/min、6 l/min |
| 压降 | 0.4 bar、0.8 bar、1.2 bar |
详情资料:SUPERSCAN-IV-20
快速、准确的太阳能电池激光加工
高达66 m/s的高速扫描，确保高产能每小时>3,600个晶圆片
高精度<±15 μm确保高光电转换效率
配有优化的高动能反射镜，确保最佳性能
使用f = 330 mm透镜
优势
SUPERSCAN IV SOLAR基于模型的数字控制提供了极高的速度，最高可达200 rad/s。这真正实现了特别快速和精准的应用。带有覆盖超波长涂层的特殊镀面基材即使在大的加工区域内，也能实现小的光斑直径。
可选配置
透镜，保护窗以及反射镜材质和镀膜适用于所有常见的激光器种类、波长、功率密度、焦距和工作幅面。这些参数加工应用得以获得最优化质量和加工效率。我们乐于为您提供适合您的应用的SUPERSCAN IV定制化配置。我们也乐于帮助您选择适合您应用的最优化配置。
典型应用
特别是，太阳能行业的晶圆结构是一个自然的应用。由于采用了数字控制和强大的PWM输出级，速度和动态响应得到了保证。当结合我们的相机适配器和MVC组件，SUPERSCAN IV SOLAR成为理想的具有过程监控的精密工具。
创新与品质
在RAYLASE，创新与保持产品的高品质是我们的首要目标。我们所有的产品是在自己的实验室和生产车间研发、制造和测试的。通过我们的全球支持网络，能够为客户提供最好的维护与快速支持服务。
通用规格
| 电压 | +48V |
| 电压 | 2A RMS, 最大5A |
| 纹波/噪音 | 最大200 mVpp, @20 MHz带宽 |
| 环境温度 | +15°C至+35°C |
| 储存温度 | -10°C至+60°C |
| 湿度 | ±80 %无结霜 |
| 外壳防护等级 | 64 |
| 接口信号 | XY2-100-增强协议 SL2-100协议 |
| 典型偏转角 | ± 0.393 rad |
| 分辨率 XY2-100-E 16-Bit | 12 urad |
| 分辨率 SL2-100 20-Bit | 0.76 urad |
| 重复定位精度 (RMS) | ≤2.0 urad |
| 定位误差 (RMS) | ≤4.5 urad |
| 最大增益漂移 | 15 ppm/K |
| 最大位置漂移 | 10 urad/K |
| 8小时长周期稳定性，无水冷 | ≤60 urad |
| 8小时长周期稳定性，有水冷 | ≤40 urad |
机械参数
| 型号 | SUPERSCAN IV-15 | SUPERSCAN IV-20 |
| 输入孔径 [mm] | 15 | 20 |
| 光束位移 [mm] | 18.1 (QU), 18.0 (SC) | 26.0 (QU, SC) |
| 重量 [无透镜] [kg] | 约3.2 | 约5.5 |
| 尺寸 (L x W x H) [mm] | 170.0 x 125.0 x 117.5 | 203.0 x 159.0 x 150.0 |
反射镜类型
| 波长 | 材质 15 mm | 材质 20 mm |
| 343 nm | SC | SC |
| 355 nm | QU, SC | SC |
| 515 nm | SC | SC |
| 532 nm | QU, SC | SC |
| 1,030 nm, 1,070 nm | SC | SC |
| 1,064 nm | QU, SC | SC |
| 1,060–1,080 nm | QU | SC |
调校
| 调校 | 描述 |
| 高线性精度调校 (PL) | 针对长焦在高速打标和超高精度光束偏转时的优化调校 |
| 晶圆调校 (W) | 针对长焦在最高速度和高精度光束偏转时的优化调校 |
动态参数
| 型号 | SUPERSCAN IV-15 QU | SUPERSCAN IV-15 SC | SUPERSCAN IV-20 5C | ||
| 调校 | W | PL | W | W | |
| 加工速度 [rad/s] | 200 | 110 | 200 | 160 | 200 |
| 定位速度 [rad/s] | 200 | 110 | 200 | 160 | 200 |
| 追迹误差 [ms] | 0.30 | 0.30 | 0.20 | 400 | |
| 1%全行程阶跃响应时间 [ms] | 0.65 | 0.80 | 0.50 | 1.00 | |
水冷控制
| 规格 | 冷却水 |
| 温度 | 22°C ~ 28°C |
| 最大水压 | <3 bar |
| 流量 | 2 l/min、4 l/min、6 l/min |
| 压降 | 0.4 bar、0.8 bar、1.2 bar |
详情资料:SUPERSCAN-IV-SOLAR
数字控制，高动态性能，多用途
通过20位SL2-100协议或16位XY2-100协议控制
得益于数字PWM输出级，极大地降低了功耗和热量
快速动态响应和高速度得以最大化生产效率，特别适合MOTF加工
针对不同应用的多种反射镜基底和镀膜
输入孔径：Φ 30 mm
优势
SUPERSCAN IV振镜提供了极快的动态响应和速度，与我们I模组配合特别适合MOTF应用(飞行加工与标刻)。坚固的水冷外壳设计，搭配可选配的空气冷却组件，使之能够承受高达6kW的激光功率。
可选配置<<>
透镜、保护窗以及反射镜材质和镀膜适用于所有常见的激光器种类、波长、功率密度、焦距和工作幅面。电子控制系统也支持额外的控制参数设置(调校选项)。我们乐于为您提供最适合您应用的SUPERSCAN IV优化配置。
典型应用
SUPERSCAN IV是RAYLASE针对极高速度和快速动态响应要求的材料激光加工应用推出的理想解决方案。SUPERSCAN IV特别适合划线、钻孔、包装行业中的塑料和纸板切割以及电子元件标刻。数字控制和强大的PWM输出级技术保证了振镜的速度和动态响应。结合我们的高功率相机适配器，安装在机器人和光门系统上的SUPERSCAN IV搭配可选加工监测组件，是理想的远程焊接解决方案。
创新与品质
在RAYLASE，创新与保持产品的高品质是我们的首要目标。我们所有的产品是在自己的实验室和生产车间研发、制造和测试的。通过我们的全球支持网络，能够为客户提供最好的维护与快速支持服务。
通用规格
| 电压 | 30 V 或 48 V |
| 电流 | 2 A RMS, 最大 5 A |
| 电流 | 最大 200 mVpp, @20 MHz带宽 |
| 环境温度 | +15°C 至 +35°C |
| 储存温度 | -10°C 至 +60°C |
| 湿度 | ≤ 80 % 无结露 |
| 外壳IP防护等级 | 64 |
| 接口信号 | XY2-100 增强协议, SL2-100协议 |
| 典型偏转角 | ± 0.393 rad |
| 分辨率 XY2-100-E 16-Bit | 12 µrad |
| 分辨率 SL2-100 20-Bit | 0.76 µrad |
| 重复定位精度 (RMS) | < 2.0 µrad |
| 定位噪声 (RMS) | < 3.2 μrad |
| 最大增益漂移 | 15 ppm/K |
| 最大位置漂移¹ | 10 µrad/K |
| 8小时长期稳定性，无水冷 | < 60 µrad |
| 8小时长期稳定性，有水冷 | < 40 µrad |
机械参数
| 型号 | SUPERSCAN IV-30 |
| 输入孔径 [mm] | 30 |
| 光束位移 [mm] | 36.0 (SI, SC), 35.4 (QU) |
| 重量(无透镜) [kg] | 约 5.5 |
| 不锈钢外壳 [kg] | 约 12.0 |
| 尺寸 (L x W x H) [mm] | 203.0 x 159.0 x 150.0 |
反射镜类型
| 波长 | 材质 |
| 420 nm – 480 nm | QU |
| 900 nm – 1,100 nm + AL | QU, SC |
| 1,064 nm | SI, SC, QU |
| 1,020 nm – 1,040 nm (高功率镀膜 > 3 kW) | QU |
| 1,060 nm – 1,080 nm (高功率镀膜 > 3 kW) | QU |
| 10,600 nm | SI, SC |
调校
| 调校 | 描述 |
| 快速向量调校 (VC) | 针对常见应用进行的优化调校，注重加工速度 |
| 快速向量调校 (FV) | 结合高动态性能和高速的优化调校 |
动态参数
| 型号 | SUPERSCAN IV-30-QU | SUPERSCAN IV-30-SI | SUPERSCAN IV-30-SC | |||||
| 调校 | 向量 | 向量 | 向量 | 快速向量 | ||||
| 加工速度 [rad/s] | 30 @ 30 V | 50 @ 48 V | 35 @ 30 V | 55 @ 48 V | 40 @ 30 V | 65 @ 48 V | 30 @ 30 V | 50 @ 48 V |
| 定位速度 [rad/s] | 30 @ 30 V | 50 @ 48 V | 35 @ 30 V | 55 @ 48 V | 40 @ 30 V | 65 @ 48 V | 30 @ 30 V | 50 @ 48 V |
| 追迹误差 [ms] | 0.48 | 0.43 | 0.30 | 0.24 | ||||
| 1%全行程阶跃响应时间 | 1.2 | 1.0 | 0.8 | 0.65 | ||||
空气冷却
| 压缩空气 | 洁净空气，去水去油 |
| 流量 | 50 – 100 l/min |
| 压降 | 1.0 bar – 1.5 bar |
水冷控制
| 冷却水 | 加添加剂的洁净自来水 |
| 温度 | 22°C – 28°C |
| 最大水压 | < 3 bar |
| 流量 | 2 l/min、4 l/min、6 l/min |
| 压降 | 0.4 bar、0.8 bar、1.2 bar |
详情资料:SUPERSCAN-IV-30
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