M2 转换模块

M2 转换模块是我们完整 LeanLine 解决方案的一部分，也可作为独立解决方案提供给希望自行进行线形整形的客户。该模块是一种经济高效的解决方案，可使用多模 (MM) 激光器作为输入源，在一个轴上获得接近单模 (SM) 的光束质量。

它极其易于对准，保持相同的光轴，并采用低数值孔径 (NA) 光学元件；使其易于与现有的线聚焦光学系统集成。与竞品方案不同，输入光束可以是圆形的，不需要呈椭圆形。只需将该模块插入您的光路中，经过一些微调后，您即可获得经过 M² 转换的光束。

产品特点

• 基于 HOLO/OR 独特知识产权内部开发。

• 易于对准和安装 – 模块出厂即预对准并密封。

• 通过光刻生产工艺实现光束质量转换的极高精度。

• 全透射（无反射）、同轴系统。

• 无像差。

• 无内部焦点。

• 可用光谱范围广：从深紫外 (DUV) 193nm 到近红外 (NIR) 1940nm。

• 采用高品质紫外熔融石英制造，所有表面均镀有高功率增透 (AR) 膜。

典型规格

每套系统仅限一个波长，最大光谱宽度为输入波长的 2%

工作原理

输出形状由间距相等的分段组成，在一个轴（快轴）上具有接近单模的质量，在第二个轴（慢轴）上为高度多模。这些分离的低 M² 值分段可以被重新整形并聚焦成一条薄且接近衍射极限的直线，具有良好的均匀性；适用于材料加工的应用需求。

M2 转换模块仿真

以下是 M² 转换模块的仿真性能结果。上方的两个轮廓图显示了波长为 343 nm、光束直径 6 mm、发散角 0.083 度的圆形多模激光光源的强度和发散角。使用我们的 M² 计算器，这些计算出的光束参数相当于 M² 值为 20。

圆形多模激光光源的强度和发散角

下方的图片展示了 M² 转换模块出口处的强度和发散角。在 M² 值小的轴上，光束尺寸为 0.65 mm，发散角为 0.094 度。计算得出的 M² 值为 2.4。

M² 转换模块输出 - X 轴（快轴）的归一化强度和发散角

M² 转换模块输出 - Y 轴（慢轴）的强度和发散角

LeanLine™

LeanLine™ 是创新解决方案，用于将圆形输入光束转换为窄激光线，适用于各种高功率应用，尤其是紫外和绿光波长（343、355 和 532 nm）。
 HOLO/OR 提供稳健的双模块系统，可将低相干性的圆形输入转换为用户指定长度（100mm-750mm）的窄线。
我们的解决方案基于专有的衍射光束整形概念，可针对从 193nm 深紫外到 1940 nm 红外激光器的任何波长进行定制。

通过利用此解决方案，您可以使用功率更低、成本更低的激光器在细线中实现相同的功率密度；从而大幅节省成本。

衍射解决方案优势：

• 易于对准和安装。

• 通过光刻生产工艺实现光束质量转换的极高精度。

• 全透射（无反射）、同轴系统。

• 无像差。

• 可轻松修改以产生不同的线长和线宽。

• 无内部焦点。

• 可用光谱范围广：从深紫外 (DUV) 到近红外 (NIR)。

该解决方案包含两个模块：

• 第一个模块是 M² 转换模块：用于光束质量转换和细线光束整形。

• 第二个模块：用于控制线长度并在窄轴方向聚焦。

LeanLine 应用领域：

• 激光剥离工艺 & 解键合 (Debonding)。

• 激光退火。

• 激光焊接。

• 薄膜太阳能电池生产。

• 直接激光干涉图案化 (DLIP)。

• OLED 显示器。

LeanLine加工材料：

• 硅

• 玻璃上硅

• 聚合物

• 玻璃上氧化铟锡

典型规格