熔融石英场镜(如F-Theta透镜)采用高纯度合成二氧化硅制成,凭借其极低热膨胀系数(≈5.5×10⁻⁷/K)和卓越的热稳定性,在激光加工中确保焦点位置不随温度波动漂移,保障高精度扫描。其宽光谱透射范围(深紫外170nm至红外3.5μm)兼容多波段激光(如紫外355nm、红外1064nm),结合超低表面粗糙度(Rq≤0.5nm)和纳米级面形精度(RMSi≤0.02μm),可聚焦光斑至微米级(最小达2.1μm),显著提升加工分辨率。此外,高损伤阈值(12J/cm²@532nm)与低远心误差(<5°)使其适配高功率超快激光系统,广泛应用于半导体微刻蚀、电池极耳切割及精密医疗设备制造。
我们一站式供应各种类型的场镜,扫描聚焦镜,平场聚焦镜,平场透镜,变倍扩束镜,可调扩束镜,非球面透镜,聚焦透镜,消色差透镜,可提供选型、技术指导、安装培训、个性定制等全生命周期、全流程服务,欢迎联系我们的产品经理!
熔融石英场镜
本系列F-Theta透镜专为高精度激光加工设计,覆盖1030-1080nm(红外)、515-532nm(绿光)、420-480nm(蓝光)、343-355nm(紫外)及257-266nm(深紫外)波段,满足多波长工业应用需求。全系采用熔融石英光学材料,具备高损伤阈值与优异热稳定性,适用于超快激光(皮秒/飞秒级)及高功率场景。
核心性能亮点:
精密聚焦:紫外波段(如343-355nm)实现2.1μm级光斑(焦距48mm),深紫外(257-266nm)达2.5μm,支持微加工与精细结构刻画;
大范围扫描:长焦距型号(如910mm)扫描区域达500×500mm²,兼顾加工效率与均匀性;
低远心误差:多数型号误差<5°(如S4LFT4010-328仅1.3°),确保光束垂直入射,提升边缘加工一致性;
紧凑设计:短工作距离(如48mm焦距对应61.1mm)适配集成化设备,降低系统体积。
适用于激光打标、精密切割、电池极耳加工及半导体微结构制造,平衡高分辨率与大视场需求,推动工业激光系统向高效、高精度演进。
型号 | 波长[nm] | 焦距[mm] | 幅面[mm²] | 焦距(1/e²) | 最大光束Ø[mm] | 最大远心度误差[°] | 工作距离[mm] | 可用于短脉冲或超短脉 |
S4LFT4147-328 | 1030-1080 | 48 | 7 x 7 | 6.3 | 15 | 2.1 | 61.1 | 是 |
S4LFT4065/328 | 1030-1080 | 65 | 15x15 | 9.4 | 15 | 2 | 83.1 | 是 |
S4LFT0710/328 | 1030-1080 | 100 | 60x60 | 39.1 | 5 | 11.5 | 120.7 | 是 |
S4LFT4010/328 | 1030-1080 | 100 | 35x35 | 19.5 | 10 | 1.3 | 129.8 | 是 |
S4LFT4127/328 | 1030-1080 | 125 | 50x50 | 13.6 | 15 | 1.5 | 157.6 | 是 |
S4LFT0763/328 | 1030-1080 | 163 | 100x100 | 45.6 | 7 | 14.6 | 194.1 | 是 |
S4LFT3162/328 | 1030-1080 | 163 | 90x90 | 21.2 | 15 | 5.6 | 201.5 | 是 |
S4LFT3167/328 | 1030-1080 | 163 | 100x100 | 32.6 | 10 | 11.6 | 200.7 | 是 |
S4LFT0725/328 | 1030-1080 | 254 | 140x140 | 61.5 | 8 | 16.2 | 282.8 | 是 |
S4LFT3250/328 | 1030-1080 | 254 | 160x160 | 33.2 | 15 | 10.7 | 321.3 | 是 |
S4LFT1330/328 | 1030-1080 | 330 | 215x215 | 33.3 | 20 | 23.5 | 203.4 | 是 |
S4LFT1420/328 | 1030-1080 | 420 | 280x280 | 58.5 | 14 | 17.3 | 499.2 | 是 |
S4LFT5430-328 | 1030-1080 | 430 | 250 x 250 | 30.0 | 30 | 11.6 | 538 | 是 |
S4LFT1655/328 | 1030-1080 | 650 | 410x410 | 63.3 | 20 | 22.5 | 581.6 | 是 |
S4LFT0910/328 | 1030-1080 | 910 | 500x500 | 65.8 | 30 | 16.2 | 1048.8 | 是 |
S4LFT4148/292 | 515-532 | 48 | 6x6 | 3.2 | 15 | 1.8 | 60 | 是 |
S4LFT4066/292 | 515-532 | 65 | 15x15 | 4.8 | 15 | 1.5 | 85.8 | 是 |
S4LFT4010/292 | 515-532 | 100 | 35x35 | 9.8 | 10 | 1.5 | 130.2 | 是 |
S4LFT4126/292 | 515-532 | 125 | 53x53 | 12 | 10 | 1.6 | 167 | 是 |
S4LFT3161/292 | 515-532 | 163 | 90x90 | 15.4 | 10 | 4.8 | 219 | 是 |
S4LFT4262/292 | 515-532 | 163 | 65x65 | 12.7 | 12 | 1.7 | 195.4 | 是 |
S4LFT1330/292 | 515-532 | 330 | 212x212 | 24.3 | 14 | 20.3 | 279 | 是 |
S4LFT5650-292 | 515-532 | 650 | 410 x 410 | 31.8 | 20 | 22.7 | 569.9 | 是 |
S4LFT4125/373 | 420-480 | 125 | 45x45 | 6.1 | 20 | 1.6 | 160.2 | 是 |
S4LFT3170/373 | 420-480 | 168 | 75x75 | 7.6 | 20 | 3.2 | 228.3 | 是 |
S4LFT3250/373 | 420-480 | 241 | 115x115 | 10 | 20 | 7.4 | 304.8 | 是 |
S4LFT1330/373 | 420-480 | 330 | 180x180 | 10.7 | 20 | 11.1 | 268.2 | 是 |
S4LFT4149/075 | 343-355 | 48 | 6x6 | 2.1 | 15 | 2.1 | 69.3 | 是 |
S4LFT4067/075 | 343-355 | 65 | 15x15 | 3.1 | 15 | 1.8 | 81.7 | 是 |
S4LFT4010/075 | 343-355 | 100 | 35x35 | 6.5 | 10 | 1.2 | 132 | 是 |
S4LFT4125/075 | 343-355 | 125 | 53x53 | 8 | 10 | 1.1 | 156.9 | 是 |
S4LFT3170/075 | 343-355 | 163 | 90x90 | 11.4 | 10 | 4.3 | 221.7 | 是 |
S4LFT4262/075 | 343-355 | 163 | 65x65 | 10.5 | 10 | 2 | 193.7 | 是 |
S4LFT1330/075 | 343-355 | 330 | 210x210 | 15.4 | 14 | 21 | 260.5 | 是 |
S4LFT3340-075 | 343-355 | 340 | 205 x 205 | 17.0 | 14 | 0.85 | 479.5 | 是 |
S4LFT4068-199 | 257-266 | 65 | 20 x 20 | 2.5 | 15 | 1.3 | 85.6 | 是 |
S4LFT3170/199 | 257-266 | 154 | 85x85 | 7.7 | 10 | 3.8 | 208.1 | 是 |
S4LFT4263/199 | 257-266 | 163 | 70x70 | 9.2 | 10 | 2.6 | 218.4 | 是 |