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电动扩束镜

电动扩束镜

时间:2025-08-01 类别:激光镜头 关注:9

0.9-4x电动355nm紫外精准变焦,适用于紫外精密微加工、光伏激光刻蚀及半导体晶圆处理

Sill S6EZM0940-574 是业界领先的 355nm紫外电动扩束镜,支持 0.9-4倍 连续变倍。采用 熔融石英镜片 与低吸收涂层,耐受 0.3 J/cm² 超快激光(1ps脉冲)。双电机驱动镜片实现 <1秒极速调节,运动中指向稳定性 <0.2 mrad,定位精度 ±30 μm。紧凑设计(53×53×185 mm)集成绝对编码器与智能控制器,通过 USB/RS232 指令控制。适用于紫外精密微加工、光伏激光刻蚀及半导体晶圆处理,为自动化产线提供动态光束控制解决方案。

我们一站式供应各种类型的扩束镜,激光扩束镜,变倍扩束镜,可调扩束镜,电动扩束镜,可提供选型、技术指导、安装培训、个性定制等全生命周期、全流程服务,欢迎联系我们的产品经理!

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用于高功率激光器的电动扩束镜

这款新型电动扩束镜 S6EZM0940-574 具有与手动可调的 S6EXZ0940-574 相同的光学设计。通过使用最高质量的涂层和石英玻璃,Sill Optics 确保这种新型扩束镜在与现代高功率激光器一起使用时具有特别高的耐用性。光束直径不低于物镜任何内透镜表面上的最小值。因此,即使在通常至关重要的第二透镜上,即使使用高功率激光器,能量输入也非常低,从而避免了对材料和涂层的损坏。

虽然变焦扩束镜因放大倍数范围可调而获得好评,但固定放大倍数的扩束镜往往因其适用于极短脉冲高功率激光器而备受关注。新型电动高功率扩束镜 S6EZM0940-574 与其手动可调扩束镜一样,兼具两种优点。

与 S6EXZ0940-574 不同,S6EZM0940-574 的镜头是电动的。这样就可以在 0.9x – 4x 范围内高精度且全自动地调整放大倍数和发散度。由于在放大和发散调整过程中不接触任何组件,并且透镜的定位精度高达 30 μm,因此可以实现 ≤0.2 mrad 的指向误差。

我们在扩束镜领域的产品范围很广,包括许多不同的型号。范围从具有固定放大倍数的紧凑型或自然阳极氧化光束扩展器到手动、部分电动或全电动变焦光束扩展器。如果您需要特定的放大倍数或有我们的产品组合镜头无法满足的其他特殊要求,我们很乐意根据您的需求调整现有产品或开发定制的新设计。请随时联系我们并体验我们高品质扩束镜的性能。

型号S6EZM0940-574
扩束倍率0.9-4x 连续可调(电动控制)
设计波长355 nm (紫外波段)
通光孔径(输入/输出)Ø12 mm / Ø28 mm
光学元件4片 (2片电动可动) / 熔融石英
损伤阈值 (涂层)0.3 J/cm² (1ps脉冲, 100Hz)
调节时间 (倍率+发散度)<1秒
透镜定位精度±30 μm
动态指向稳定性<0.2 mrad
控制接口USB/RS232
供电DC 12V
机械尺寸53×53×185 mm (阳极氧化铝外壳)
安装方式底部 M4 螺纹孔

详情资料:Sill 电动扩束镜

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