纳米量级人工结构是前沿科技的驱动力。特征尺寸为520纳米周期、120纳米高的光栅，其尺度与可见光波长相仿，能高效激发表面等离子体共振效应，为高灵敏度生物传感与纳米激光器奠定基础。而四台阶纳米结构则展现了卓越的三维加工精度，是制造高效率超表面透镜、实现光学系统微型化（如AR/VR设备）的关键步骤。这些精密图形代表了微纳加工的顶尖水平，正推动着传感、显示和信息技术迈向新纪元。
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这是一种具有严格周期性的纳米结构。其关键尺寸（周期520nm，脊高120nm）与可见光的波长（约380-780nm）处于同一量级，这使得它与光相互作用时会产生非常独特的效应。
特性与功能：
衍射与调控：这种尺寸的光栅是衍射光学元件的基础，能够精确地分光、滤波和调制光波相位。
表面等离子体共振：当金属薄膜上制作此类纳米光栅时，可激发表面等离子体激元，能将光场能量束缚在极小的纳米尺度内，极大增强光与物质的相互作用。
光学传感器：基于上述增强效应，此类结构对周围介质的折射率变化极其敏感，被广泛应用于高精度生物化学传感器中，用于检测微量分子或标志物。
应用领域: 高端光谱仪、生化传感器、纳米激光器、增强现实（AR）光波导、超表面成像。
通过扫描电子显微镜（SEM）可以清晰地观察到该结构具有四个精确控制的垂直台阶。这代表了极高的微纳加工复杂度与控制精度，是实现连续三维形貌的关键步骤。
特性与功能：
高精度相位控制：在光学中，这种多台阶结构是制造连续浮雕衍射光学元件的中间步骤。台阶数越多，最终能实现的相位调制越连续、效率越高，常用于将光学元件平面化（如超表面）。
微纳制造能力的体现：能够加工出如此清晰的多台阶结构，本身就体现了先进的刻蚀工艺控制水平和材料多层加工能力。
多功能集成：在集成电路和MEMS中，这种三维结构可以用于构建复杂的互连、悬空结构或机械联动部件。
应用领域: 先进光学超表面、微型化光学系统（手机镜头、LiDAR）、微机电系统、高密度数据存储。
