随机相位板是一种通过精密微结构产生随机相位延迟的关键光学元件。它能有效破坏激光的相干性，消除有害散斑，并将高斯分布的光束转换为能量高度均匀的平顶光斑。凭借其高效能、高均匀性和无聚焦的特性，该元件已成为激光加工、光学测量与激光投影显示等领域中提升系统性能和一致性的核心解决方案，广泛应用于半导体退火、激光清洗及3D传感等高端场景。
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随机相位板可对系统位相进行精确模拟、校正或调制。可产生单阶、多阶像差位相器件，用于各种光学系统静态像差校正；也可产生具有特定功率谱的动态随机波像差等。典型应用为用于矫正人眼高阶像差模拟器、大气湍流位相调制效应像差补偿元件及非球面检测用CGH位相板。
应用领域
激光加工与制造
光学测量与成像
显示技术
光刻系统
科学研究
