微透镜阵列(MLA)是由大量微米级透镜规则排列构成的光学元件,通过并行处理光束实现高通量成像与光场调控。其核心功能包括光束匀化、波前传感、3D成像和光场捕获,广泛应用于激光加工、自动驾驶 Lidar、AR/VR 显示和光通信等领域。凭借微型化、高集成度和多通道同步操作的特性,MLA 成为现代精密光学系统的关键组件,推动着超分辨率显微镜、计算成像和微纳光刻等技术的创新突破。
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微透镜列阵元件是由通光孔径为微米级及浮雕深度为微纳米级的透镜组成的列阵,可实现聚焦成像、准直等功能,具有单元尺寸小、集成度高等优点。主要用于 Shack-Hartmann 波前传感、红外焦平面探测、CCD 列阵光聚能、LD 整形、激光列阵扫描、激光显示、光纤耦合、光场相机、3D 显示、数字无掩膜光刻(DMD) 等系统。
哈特曼波前传感器
微透镜列阵是夏克-哈特曼波前传感器波前分割的核心器件,通过计算其焦斑位置的偏移来测量波前。该波前传感系统可应用于半导体制造、航空航天、眼科医学等研究及工业加工领域的高精度、无损、在线波前检。
焦平面聚能器件
由于传感器本身的结构特点,感光元与感光元之间存在间隙,这些间隙的存在造成光入射能量的极大损失,利用微透镜列阵将原本入射到这些间隙上的光会聚到感光元上,可以极大的提高传感器的光能利用率。
光场相机
利用微透镜列阵与场镜之间的相互匹配,获取大数据量丰富的图像数据,利用后续算法可实现多景深图像信息再现,进而可实现连续空间的数据获取。
三维显示
利用微透镜列阵与微结构图形之间的相互作用,可实现三维立体影像的获取和重现,进而发展可应用于包装、防伪、3D印刷、立体广告牌、三维影视、立体画等技术领域。
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