257.5nm单频深紫外连续激光器Frequad-M57系列

257.5nm连续激光器（Frequad-M57）是连续（CW）单频深紫外激光器，是OXIDE波长转换技术和非线性晶体技术相结合的产物。传承日本OXIDE品牌深厚的技术底蕴与严格的制作工艺，能够保证产品的优异性能以及优秀品质。其输出功率覆盖区间0.3w-1w，可适配多种激光能量需求；光束质量良好，光束质量因子 M²<1.2，能量高度汇聚，光斑均匀精准，可应用于精细加工、科学研究等范畴。运行时，因为优异的性能，需要为其配置水冷装置，确保设备在各种工作环境下仍可以保证稳定输出。由于其波长与气体激光器氩离子激光器的二次谐波（SHG）相同，专为现有气体激光器用户或该波长的新用户设计，不易操作和维护。它不仅稳定，而且高度可靠。因此，当应用于光刻设备、检测工具和现场流量计时，它可以做到降低维护频率和运行成本。它基于Frequad系列（Frequad HP、Frequad-M、Frequad-C）成功的基础上，应用了OXIDE的全部核心技术。作为具有266nm深紫外（DUV）波长的连续（CW）单频波长转换激光器已有20多年的历史.

主要特点

• 使用超高纯度BBO晶体：OXIDE专有BBO晶体的卓越品质使该系统作为一个设备在0.3-1W的输出功率下运行了3000多个小时。由于晶体退化最小，高光束质量保证了长时间的稳定运行。

• 应用精密的伺服锁定技术: 独特的高速、高精度音圈电机（VCM）伺服执行器驱动激光器稳定的CW运行。

• 功耗极低: 高效的波长转换激光系统能够实现低于340W的极低功耗操作。

典型应用

• 半导体检测和光刻设备

• 拉曼光谱、光电子能谱

• 光致发光

• 磁盘主控

• 光纤布拉格光栅制造

• 生物技术

技术参数