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CLBO非线性晶体

CLBO非线性晶体

时间:2025-08-01 类别:非线性光学器件 关注:14

高功率、宽带宽、小离散角的五倍频核心,适用于半导体光刻、精密微纳加工、生物医学及深紫外探测

CLBO晶体(CsLiB6O10)是顶尖的深紫外非线性光学材料,透光范围低至175nm。其核心优势在于高效产生高功率、高光束质量的深紫外激光,特别是Nd:YAG激光的五倍频(213nm)和四倍频(266nm)输出。CLBO具备高非线性系数(≈KDP的2.2倍)、宽角度与温度带宽、极小离散角,且无双光子吸收饱和效应,功率承载能力强(LDT达29GW/cm²@1064nm)。虽然其强吸湿性需严格烘烤(~150°C)与湿度控制,但凭借卓越性能,CLBO已成为半导体光刻(193nm/266nm光源)、精密微纳加工、生物医学及深紫外探测等尖端领域不可或缺的核心元件。

我们一站式供应各种类型的倍频晶体,非线性晶体,PPSLT晶体,LBO晶体,,BBO倍频晶体,KTP晶体,CLBO晶体,可提供选型、技术指导、安装培训、个性定制等全生命周期、全流程服务,欢迎联系我们的产品经理!

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CLBO晶体(CsLiB6O10)是一种非常优秀的,能产生多种倍频波长的非线性晶体材料,具有很好的非线性光学特性,透光范围175-2750nm,非线系数deff=0.95pm/V是KDP晶体的2.2倍。非常适合在紫外范围内产生谐波(例如193nm和266nm),透射截止范围达到180nm。与普通BBO非线性光学材料相比,CLBO晶体具有更大的光谱和温度带宽、更好的角度公差和更小的离散角。CLBO是倍频(SHG)的不错选择,倍频激光性能稳定,光束质量好,适用于大功率Nd:YAG激光系统的四倍频(FHG)。由于没有通常在BBO晶体和KDP晶体中观察到的双光子吸收的缺失,CLBO对于高功率产生没有饱和。主要应用于半导体检测,显微光刻技术,生物医学,紫外雷达等领域。

CLBO晶体

主要特点

  • 短波可至180nm;

  • 对Nd:YAG激光器的四倍频、五倍频转换效率大;

  • 高非线性系数(约为KDP的两倍);

  • 接收角度大,离散角小;

  • 可通过相位匹配获得193nm的真空紫外光输出;

  • 生长周期短,可生长大尺寸晶体。

典型应用

  • 倍频产生266nm激光

  • 微纳加工

  • 半导体光刻,半导体器件检测

  • 生物医学

  • 深紫外雷达

技术参数

孔径最大 15*15 mm²
长度最大 20 mm
平整度λ/8 @633nm
垂直度最小 <10 arc min
排比20 弧秒arc sec
划痕/挖掘最高 5/1
波前畸变λ/8 @633nm
AR 涂层无涂层
吸收系数150 ppm/cm @1064nm
激光诱导损伤阈值29 GWcm² @1064nm*
6.4GWcm² @266nm*

典型指标

切割角度:f=45度,q=61.7度;尺寸:5x5x10mm,两个表面:光学抛光;

CLBO晶体

注:切割角度和尺寸可定制,日本oxide不提供带AR镀膜的CLBO晶体。

CLBO晶体性质和Sellmeier方程

波长(nm)晶体相位匹配角(deg)有效非线性系数(pm/V)角度公差(mrad – cm)离散角(deg)
1064+532=355CLBO48.90.710.922.11
BBO34.62.010.244.47
532+532=266CLBO62.00.790.551.84
BBO47.71.750.194.89
1064+266=213CLBO68.30.950.481.66
BBO51.11.950.135.51

注:PMT = 150℃ @CLBO, 27℃ @BBO

CLBO晶体

CLBO晶体存储和处理

CLBO具有很高的吸湿性。因此,强烈建议严格控制操作环境的湿度,防止CLBO晶体与水反应降解。通过将操作温度升高至约150摄氏度,可以有效避免该问题。为了适应CLBO晶体的吸湿性,晶体在是真空包装的。建议CLBO晶体包装在使用前在干燥器中保持不开封。一旦打开,请将CLBO晶体存储在单独的烤箱或类似的环境中。

CLBO晶体

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