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衍射光学元件DOE

衍射光学元件(DOE)是相位元件,它使用嵌入在元件中的薄微结构将输入激光束控制为各种输出轮廓和形状。衍射光学器件可实现许多功能和光操作,而这在标准折射光学器件中是不可行的。在许多应用中,这些功能非常有益,可以显着提高系统性能。
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平顶光束整形器

光束整形器可将(准)高斯分布的入射激光转变成任意波前形状的激光输出(圆形,方形,正方形和线性),光束光强分布均匀,具有陡峭的边缘。均匀分布的光斑在光处理过程中具有很大的优势,可以有效排除特殊区域的过量曝光或曝光不足。另外,陡峭的光束边缘使光处理区域和非处理区域的界限更加明显。

光束整形器可以分为:光束聚焦整形器,角光束整形器(平顶分布)和M整形器。

光束聚焦镜对入射光斑进行相位调制,在焦平面附近几微米内获得平顶光斑

角光束整形器可在无穷远或无相差,透镜焦距位置形成平顶光分布;M整形器可产生M型强度截面,在特定工作面产生陡峭的边缘

标准聚焦整形元件

型号 波长[nm] 入射光斑直径 [mm] 工作距离 [mm] 聚焦光斑大小 元件直径 [mm] 像形状
TH-042-U-Y-A 355 2.5 50 50um 25.4 圆形
TH-245-U-Y-A 355 12 50 45x10um 25.4 长方形
ST-202-U-Y-A 355 14 50 50x6um 25.4 长方形
ST-203-I-Y-A 1064 6 52 50x50um 25.4 方形
ST-204-Q-Y-A 532 6 52 30x30um 25.4 方形
TH-241-W-Y-A 266 8 200 1mm 25.4 线形
TH-235-U-Y-A 355 12 700 10mm 27.94 线形
ST-209-Q-Y-A 532 2 104.76 150x200um 12.7 长方形
ST-211-A-Y-A 10600 11 38 125x200um 27.94 长方形
ST-215-U-Y-A 355 14 47.8 6x34um 25.4 长方形
ST-216-U-Y-A 355 14 47.8 6x38um 25.4 长方形
ST-217-U-Y-A 355 14 47.8 6x42um 25.4 长方形
TH-234-A-Y-A 10600 14 95 250um 27.94 圆形
TH-233-A-Y-A 10600 12 63.5 0.25x2.5mm 27.94 长方形
TH-223-A-Y-A 10600 2.4 565 27.8x27.8mm 15 方形
TH-222-Q-Y-A 532 2.9 40 200um 12.7 线形
TH-219-A-Y-A 10600 12 63.5 0.25x1.5mm 27.94 长方形
TH-217-U-Y-A 355 2 100 100x100um 12.7 方形
TH-009-A-Y-A 10600 10 63.5 280x280 um 27.94 方形
TH-011-A-Y-A 10600 25 250 3 mm 38.1 圆形
TH-216-Q-Y-A 532 12 720 10x10mm 25.4 方形
TH-014-I-Y-A 1064 7 42.52 190 um 20 圆形
TH-017-I-Y-A 1064 39 20000 635x5.3 mm 50 长方形
TH-018-I-Y-A 1064 13 20000 635x635 mm 38.1 方形
TH-019-I-Y-A 1064 3.5 100 210x210 um 25.4 方形
TH-209-U-Y-A 355 9x6 200 100 um 25.4 圆形
TH-208-A-Y-A 10600 13 150 5 mm 27.94 线形
TH-207-U-Y-A 355 3.5 99.35 200x200 um 25.4 方形
TH-034-Q-Y-A 532 2.5 99.5 100x100 um 25.4 方形
TH-035-Q-Y-A 532 2.5 99.5 90 um 25.4 圆形
TH-036-Q-Y-A 532 3.5 100 200x200 um 25.4 方形
ST-201-A-Y-A 10600 16.5 187.5 360um 38.1 圆形
TH-043-U-Y-A 355 8 49.8 15 um 20 圆形
TH-205-A-Y-A 10600 4 100 1.5mm 25.4 圆形
TH-045-U-Y-A 355 1.65 94 170x170 um 12.7 方形
TH-046-U-Y-A 355 2.5 95 61x61um 12.7 方形
TH-051-W-Y-A 266 5 42 15 um 25.4 圆形
TH-101-I-Y-A 1064 3 100 150 um 25.4 圆形
TH-102-I-Y-A 1064 6 100 150 um 25.4 圆形
TH-103-I-Y-A 1064 9 1000 10x10 mm 25.4 方形
TH-202-A-Y-A 10600 14.5 79.5 370um 20 圆形
TH-203-D-Y-A 2940 4 80 200 um 11 圆形
TH-204-Q-Y-A 532 3.5 105 200x200um 25.4 方形
ST-200-C-Y-A 9250 12 63.5 260x260um 27.94 方形
TH-032-Q-Y-A 532 10.9 200 2mm 25.4 圆形
TH-031-Q-Y-A 532 5 52.4 100 um 25.4 圆形
TH-005-C-Y-A 9250 12 62.9 350 um 27.94 圆形
TH-226-A-Y-A 10600 4 100 3x3mm 20 方形
TH-231-I-Y-A 1064 5 100 0.2x0.6mm 12.7 长方形
TH-004-A-Y-A 10600 12 63.4 390 um 27.94 圆形
TH-003-A-Y-A 10600 3.7 41 650um 12.7 线形
TH-244-U-Y-A 355 12 50 35x13um 25.4 长方形
TH-033-X-Y-A 800 6 200 3 mm 25.4 圆形
TH-012-H-Y-A 1319 7 43.2 170 um 20 圆形
TH-008-C-Y-A 9250 10 62.9 260x260 um 27.94 方形
TH-232-X-Y-A 1070 12 150 300x300um 38.1 方形
TH-007-C-Y-A 9250 25 121 14.2X1.7 mm 38.1 长方形
TH-006-A-Y-A 10600 25 125 15X1 mm 38.1 长方形
ST-208-X-Y-A 1070 14 75 500x500um 30 方形
ST-205-I-Y-A 1064 7 100 210x210um 25.4 方形
TH-044-1-Y-A 337 8 49.4 20 um 20 圆形
TH-224-X-Y-A 1070 14 75.76 1x1mm 38.1 方形

角光束整形器

型号 波长 [nm] 入射光直径[mm] 聚焦发散角 [mrad] 像尺寸[um]*   元件大小 [mm] 像形状
TH-238-I-Y-A 1064 3 6 600 11 圆形
ST-206-I-Y-A 1064 10 2.7 270 25.4 线形
ST-219-I-Y-A 1064 4 0.52 52 11 圆形
ST-225-I-Y-A 1064 4.5 0.47 47 25.4 方形
ST-234-I-Y-A 1064 7 0.3 30 25.4 方形
ST-237-I-Y-A 1064 9 0.23 23 25.4 圆形
ST-241-I-Y-A 1064 10 0.2 20 25.4 圆形
PT-001-I-N-A 1064 6 0.56 56 30 方形
TH-258-I-Y-A 1064 10 0.48 48 25.4 方形
ST-212-I-Y-A 1064 7 1 100 20 方形
ST-277-I-Y-A 1064 7 0.3 30 25.4 线形
TH-227-I-Y-A 1064 3 13.3 1330 11 圆形
ST-283-I-Y-A 1064 12 0.36x1.8 36.0x180 25.4 长方形
TH-215-I-Y-A 1064 6 1 100 25.4 圆形
ST-286-I-Y-A 1064 12 0.35x2.7 35.0x270 25.4 长方形
TH-015-I-Y-A 1064 5.1 14.5 1450 25.4 线形
TH-013-I-Y-A 1064 7 17.5 1750 25.4 方形
ST-303-I-Y-A 1064 7.5 0.28 28 25.4 圆形
ST-221-I-Y-A 1064 4.7 0.44 44 25.4 圆形
ST-238-I-Y-A 1064 10 0.2 20 25.4 方形
ST-239-I-Y-A 1064 6 0.35 35 25.4 圆形
ST-240-I-Y-A 1064 8 0.26 26 25.4 圆形
ST-222-I-Y-A 1064 5 0.41 41 25.4 圆形
PT-002-I-Y-A 1064 7.5 45.18x2.64 4518.8x264 40x40 长方形
ST-259-I-Y-A 1064 2 1.04 104 11 圆形
ST-260-I-Y-A 1064 3 0.69 69 11 圆形
PT-001-I-Y-A 1064 6 0.56 56 30 方形
ST-289-I-Y-A 1064 3.5 0.6 60 11 圆形
TH-249-I-Y-A 1064 3.2 0.74 74 12.5 线形
TH-246-I-Y-A 1064 6 4.2 420 25.4 圆形
TH-239-I-Y-A 1064 4.7 0.51 51 12.5 线形
ST-227-I-Y-A 1064 4 2 200 11 框形
ST-267-I-Y-A 1064 2 1.04 104 11 线形
ST-268-I-Y-A 1064 3 0.69 69 11 线形
ST-269-I-Y-A 1064 4 0.52 52 11 线形
ST-270-I-Y-A 1064 5 0.43 43 11 线形
ST-271-I-Y-A 1064 2 1.3 130 11 圆形
ST-272-I-Y-A 1064 3 0.87 87 11 圆形
ST-273-I-Y-A 1064 5 0.52 52 25.4 圆形
ST-275-I-Y-A 1064 8 0.26 26 25.4 线形
ST-276-I-Y-A 1064 10 0.21 21 25.4 线形
ST-228-I-Y-A 1064 4 24 2400.1 11 框形
ST-278-I-Y-A 1064 9 0.23 23 25.4 线形
ST-229-I-Y-A 1064 4 12 1200 11 方形
TH-221-I-Y-A 1064 2.2 3.2 320 11 方形
ST-281-I-Y-A 1064 6 0.34 34 25.4 线形
ST-282-I-Y-A 1064 6 0.34 34 25.4 方形
ST-230-I-Y-A 1064 7 0.29 29 20 圆形
TH-220-I-Y-A 1064 1.125 6.2 620 11 方形
ST-231-I-Y-A 1064 3 8.7 870 11 线形
ST-232-I-Y-A 1064 3 17.67 1767 11 线形
ST-220-I-Y-A 1064 4 0.53 53 11 方形
ST-235-I-Y-A 1064 8 0.26 26 25.4 方形
ST-315-I-Y-A 1064 1.5 1.39 139 11 方形
ST-290-I-Y-A 1064 3.5 0.6 60 11 方形
ST-291-I-Y-A 1064 2 1.02 102 11 方形
ST-292-I-Y-A 1064 2.5 0.81 81 11 方形
ST-293-I-Y-A 1064 3 0.68 68 11 方形
ST-294-I-Y-A 1064 2.5 0.83 83 11 线形
ST-295-I-Y-A 1064 3.5 0.59 59 11 线形
ST-296-I-Y-A 1064 4.5 0.46 46 11 线形
ST-297-I-Y-A 1064 2.5 0.84 84 11 圆形
ST-298-I-Y-A 1064 4.5 0.47 47 11 圆形
ST-299-I-Y-A 1064 5.7 0.4 40 11 圆形
ST-300-I-Y-A 1064 5.7 0.49 49 11 圆形
ST-301-I-Y-A 1064 5.7 0.37 37 12.5 圆形
ST-302-I-Y-A 1064 5.7 0.48 48 12.5 圆形
ST-236-I-Y-A 1064 9 0.23 23 25.4 方形
ST-307-I-Y-A 1064 1 2.08 208 11 圆形
ST-308-I-Y-A 1064 1 2.08 208 11 方形
ST-312-I-Y-A 1064 1 2.08 208 11 线形
ST-313-I-Y-A 1064 1.5 1.39 139 11 线形
ST-314-I-Y-A 1064 1.5 1.39 139 11 圆形
ST-263-I-Y-A 1064 12 0.36x2.39 36x239 25.4 长方形
ST-207-I-Y-A 1064 10 0.6 60 25.4 圆形
ST-288-I-Y-A 1064 12 0.36x3.30 36x330 25.4 长方形
ST-287-I-Y-A 1064 12 0.35x2.99 35.5x299 25.4 长方形
ST-285-I-Y-A 1064 12 0.36x2.40 36.0x240.0 25.4 长方形
ST-284-I-Y-A 1064 12 0.36x2.10 36.0x210.0 25.4 长方形
ST-280-I-Y-A 1064 12 0.36x3.30 36.5x330.0 25.4 长方形
TH-225-I-Y-A 1064 1.2 23.7 2370.1 11 Dollar
ST-279-I-Y-A 1064 12 0.36x3.00 36.0x300.0 25.4 长方形
TH-228-I-Y-A 1064 3 10 1000 11 圆形
TH-236-I-Y-A 1064 6 7.2 720 25.4  10x10 网格
TH-237-I-Y-A 1064 6 7.2 720 25.4 11 线形
ST-266-I-Y-A 1064 12 0.37x2.40 36.9x239.5 25.4 长方形
ST-265-I-Y-A 1064 12 0.37x2.09 37.2x209.1 25.4 长方形
ST-264-I-Y-A 1064 12 0.36x2.69 36.5x269.0 25.4 长方形
TH-248-I-Y-A 1064 5 5.60x0.94 560.0x94.0 25.4 长方形
TH-002-I-Y-A 1064 12 2.4 240 27.94 方形
TH-252-I-Y-A 1064 6 20 2000.1 25.4 圆形
TH-253-I-Y-A 1064 12 0.65x2.97 65.0x297.0 25.4 长方形
TH-254-I-Y-A 1064 12 0.81x2.36 81.0x236.0 25.4 长方形
TH-255-I-Y-A 1064 12 1.10x1.77 110.0x177.0 25.4 长方形
TH-256-I-Y-A 1064 12 0.40x4.79 40.0x479.0 25.4 长方形
TH-257-I-Y-A 1064 12 0.36x5.39 36.0x539.0 25.4 长方形
ST-262-I-Y-A 1064 12 0.36x2.10 36.0x210.0 25.4 长方形
TH-259-I-Y-A 1064 6 3.19 319 25.4 方形
TH-260-I-Y-A 1064 6 1.71 171 25.4 方形
TH-105-I-Y-A 1064 7.5 0.54 54 25.4 圆形
ST-261-I-Y-A 1064 12 0.36x1.78 35.8x178.0 25.4 长方形
ST-258-I-Y-A 1064 10 3.9 390 25.4 线形
ST-223-I-Y-A 1064 6 3 300 25.4 线形
PT-003-I-Y-A 1064 3.2 22.77 2277.1 12.7x12.7 线形
PT-005-I-Y-A 1064 5 3.29 329 25.4 圆形
PT-006-I-Y-A 1064 2 40.30x57.10 4030.5x5711.6 12.7 椭圆形

*焦距100mm

应用于扫描系统的微型光束整形器(~1.5X 衍射极限)

具有平顶能量分布的激光束被广泛地应用于各种材料处理领域,主要包括扫描仪和场镜系统中基片上的准直聚焦。我们最近推出了具有1.5倍衍射极限的光束整形器,价格较常规产品便宜。该光束整形器主要应用于高功率激光下的扫描聚焦系统,将衍射光束整形器置于扫描镜之前,可在场镜工作平面得到平顶分布的光斑,并且不会改变系统的聚焦距离。

匀束器

匀束器能灵活地将任何准直激光精确地转变成任意形状的均匀光束,非常适用于需要不同形状且具有随机强度剖面的应用领域。匀束器的输出依赖于输入光斑的特性,相对于单模光束,多模光束具有较低的相干性,这使得输出的斑点更少,从而形成更加均匀的光强输出。

匀束器

型号 波长[nm] 聚焦发散角[deg] 像尺寸[mm]* 元件大小 [mm] 像形状
HM-260-I-Y-A 1064 2 3.49 25.4 线形
DF-200-I-Y-A 1064 0.50x0.50 0.87x0.87 11 方形
HH-209-I-Y-A 1064 20.00x20.00 35.27x35.27 10x10 方形
HH-214-I-Y-A 1064 2.00x2.00 3.49x3.49 11 方形
HM-200-I-Y-A 1064 0.50x0.50 0.87x0.87 11 方形
HM-201-I-Y-A 1064 0.50x0.50 0.87x0.87 25.4 方形
HM-203-I-Y-A 1064 2.00x2.00 3.49x3.49 25.4 方形
HM-208-I-Y-A 1064 2.75x2.75 4.80x4.80 25.4 方形
HM-210-I-Y-A 1064 2.00x2.00 3.49x3.49 11 方形
HM-211-I-Y-A 1064 2.00x2.00 3.49x3.49 25.4 方形
HM-212-I-Y-A 1064 0.50x0.50 0.87x0.87 25.4 方形
HM-213-I-Y-A 1064 1.00x1.00 1.75x1.75 22 方形
HD-200-I-Y-A 1064 2.15 3.75 18 六边形
HM-271-I-Y-A 1064 2.00x2.00 3.49x3.49 25.4 方形
HM-273-I-Y-A 1064 10.00x10.00 17.50x17.50 10x10 方形
HM-274-I-Y-A 1064 20.00x20.00 35.27x35.27 10x10 方形
HM-283-I-Y-A 1064 0.50x0.50 0.87x0.87 11 方形
RH-215-I-Y-A 1064 4 6.98 25.4 圆形
RD-204-I-Y-A 1064 2 3.49 25.4 圆形
RD-206-I-Y-A 1064 2 3.49 11 圆形
RD-211-I-Y-A 1064 0.5 0.87 11 圆形
RD-215-I-Y-A 1064 4 6.98 25.4 圆形
RD-216-I-Y-A 1064 1.6 2.79 25.4 圆形
RD-228-I-Y-A 1064 0.5 0.87 11 圆形
HM-263-I-Y-A 1064 0.5 0.87 11 线形
HM-264-I-Y-A 1064 0.60x0.60 1.05x1.05 25.4 方形
HM-267-I-Y-A 1064 8 13.99 48 线形
ED-204-I-Y-A 1064 1.71x0.84 2.98x1.47 25.4 椭圆形
HM-272-I-Y-A 1064 0.55x0.55 0.96x0.96 25.4 方形
ED-205-I-Y-A 1064 2.76x1.87 4.82x3.26 25.4 椭圆形
ED-206-I-Y-A 1064 3.80x2.92 6.63x5.10 25.4 椭圆形
HM-276-I-Y-A 1064 1.00x1.00 1.75x1.75 25.4 方形
HM-281-I-Y-A 1064 2 3.49 11 线形
RH-220-I-Y-A 1064 4 6.98 20 圆形
HM-284-I-Y-A 1064 2.00x2.00 3.49x3.49 11 方形
HM-285-I-Y-A 1064 0.36x0.66 0.63x1.15 25.4 矩形
RH-218-I-Y-A 1064 2 3.49 18 圆形
HM-288-I-Y-A 1064 0.54x0.54 0.94x0.94 38.1 方形
HM-289-I-Y-A 1064 1 1.75 11 线形
HM-290-I-Y-A 1064 4.00x4.00 6.98x6.98 11 方形
HM-291-I-Y-A 1064 4 6.98 11 线形
HM-303-I-Y-A 1064 3.60x14.40 6.29x25.27 15 矩形
RH-217-I-Y-A 1064 2 3.49 25.4 圆形
RH-224-I-Y-A 1064 4 6.98 15 圆形
RH-206-I-Y-A 1064 2 3.49 11 圆形
RD-254-I-Y-A 1064 1 1.75 20 圆形
RD-253-I-Y-A 1064 5.27 9.2 15 圆形
ED-201-I-Y-A 1064 1.23x0.79 2.15x1.38 15 椭圆形
RD-252-I-Y-A 1064 3.44 6.01 15 圆形
RD-251-I-Y-A 1064 6.87 12 15 圆形
RD-247-I-Y-A 1064 0.5 0.87 25.4 圆形
HM-320-I-Y-A 1064 5.78x1.44 10.10x2.51 15 矩形
RD-246-I-Y-A 1064 3 5.24 15 圆形
HM-322-I-Y-A 1064 2.06x7.55 3.60x13.20 18 矩形
HM-323-I-Y-A 1064 0.3 0.52 25.4 方形
HM-327-I-Y-A 1064 3 5.24 11 线形
HM-328-I-Y-A 1064 5.00x5.00 8.73x8.73 11 方形
RD-237-I-Y-A 1064 4 6.98 11 圆形
RD-231-I-Y-A 1064 1 1.75 20 圆形
RD-203-I-Y-A 1064 0.5 0.87 25.4 圆形
HH-208-I-Y-A 1064 2.75x2.75 4.80x4.80 25.4 方形
ED-202-I-Y-A 1064 1.23x0.79 2.15x1.38 11 椭圆形
RD-208-I-Y-A 1064 16 28.11 11 圆形
HH-211-I-Y-A 1064 2.00x2.00 3.49x3.49 25.4 方形
RD-213-I-Y-A 1064 0.5 0.87 11 圆形
HM-217-I-Y-A 1064 2.06x7.55 3.60x13.20 18 矩形
ED-203-I-Y-A 1064 1.23x0.79 2.15x1.38 25.4 椭圆形
RD-220-I-Y-A 1064 0.33 0.58 11 圆形
RD-221-I-Y-A 1064 0.16 0.28 11 圆形
RD-222-I-Y-A 1064 0.16 0.28 15 圆形
RD-232-I-Y-A 1064 2 3.49 11 圆形
RD-227-I-Y-A 1064 1 1.75 25.4 圆形
HM-262-I-Y-A 1064 0.5 0.87 25.4 线形
HM-315-I-Y-A 1064 25 44.34 10x10 线形
RD-226-I-Y-A 1064 27.4 48.75 15x15 圆形
RH-221-I-Y-A 1064 27.4 48.75 15x15 圆形
HM-286-I-Y-A 1064 22.9 40.51 7.25x7.25 线形
HM-307-I-Y-A 1064 0.50x0.50 0.87x0.87 25.4 方形
HM-312-I-Y-A 1064 10 17.5 10x10 线形
HM-321-I-Y-A 1064 5 8.73 15x15 线形
HM-319-I-Y-A 1064 45 82.84 10x10 线形
HM-318-I-Y-A 1064 40 72.79 10x10 线形
HM-317-I-Y-A 1064 35 63.06 10x10 线形
RD-202-I-Y-A 1064 0.75 1.31 25.4 圆形
HM-314-I-Y-A 1064 20 35.27 10x10 线型
HM-313-I-Y-A 1064 15 26.33 10x10 线形
HM-316-I-Y-A 1064 30 53.59 10x10 线形
RD-256-I-Y-A 1064 0.5 0.87 14.1x14.1 圆形
RD-255-I-Y-A 1064 1 1.75 14.1x14.1 圆形
RD-245-I-Y-A 1064 0.19 0.33 12.7x12.7 圆形
RD-239-I-Y-A 1064 13.86 24.31 15x15 圆形
RD-238-I-Y-A 1064 11.9 20.84 15x15 圆形
ED-207-I-Y-A 1064 1.71x0.84 2.98x1.47 25.4x25.4 椭圆形
ML-001-I-Y-A 1064 81.59x81.59 172.60x172.60 20x20 多线形

*焦距100mm

点阵分束器

点阵分束器可将输入光束转换成1维或2维的光束序列,分束后的光斑具有与入射光束相同的特性(功率和传播方向除外)。根据元件上图样的不同,点阵分束器可将入射光转变成1维(1xN)或2维(MxN)点阵。根据不同的设计,点阵分光器可工作在特定的波长并产生特定输出角度的光斑。另外,我们还提供二进制的传播相位光栅(占空比为50%的特殊1维Damman光栅)。除了提供标准产品外,我们还可以根据光斑数量和分布,占空比、调制深度、周期、反射式或传播式等为客户进行定制。

点阵分束器

型号 点数 波长[nm] 发散角 [deg] 元件大小 [mm]
MS-268-I-Y-A 19 1064 0.15 25.4
TS-008-I-Y-S 3 1064 1.27 25.4
DS-212-I-Y-A 2 1064 0.25 38.1
DS-216-I-Y-A 2 1064 1.52 11
DS-217-I-Y-A 2 1064 0.27 25.4
DS-224-I-Y-A 2 1064 0.12 20
DS-238-I-Y-A 2 1064 1.42 25.4
MS-107-I-Y-X 7 1064 0.29 25.4
MS-214-I-Y-A 6 1064 0.57 25.4
MS-233-I-Y-X 7 1064 0.7 25.4
MS-245-I-Y-A 10 1064 0.57 25.4
MS-255-I-Y-X 101 1064 0.057 25.4
MS-257-I-Y-A 51 1064 0.057 25.4
DS-006-I-Y-A 2 1064 2.54 25.4
MS-269-I-Y-X 25 1064 0.11 25.4
MS-272-I-Y-N 7 1064 0.19 15
MS-385-I-Y-A 6 1064 0.76 25.4
MS-398-I-Y-X 5 1064 0.3 25.4
MS-399-I-Y-A 4 1064 0.14 25.4
MS-400-I-Y-A 8 1064 0.14 25.4
MS-401-I-Y-A 16 1064 0.14 25.4
MS-455-I-Y-A 19 1064 0.38 20
MS-475-I-Y-A 6 1064 0.4 25.4
TS-225-I-Y-A 3 1064 0.072 25.4
TS-008-I-Y-D 3 1064 1.27 25.4
MS-333-I-Y-A 10 1064 0.76 11
DS-198-I-Y-A 2 1064 7.63 25.4
DS-199-I-Y-A 2 1064 8.72 11
DS-207-I-Y-A 2 1064 0.15 15
DS-208-I-Y-A 2 1064 0.27 11
DS-209-I-Y-A 2 1064 0.15 11
DS-210-I-Y-A 2 1064 0.29 11
DS-001-I-Y-A 2 1064 0.14 27.94
DS-213-I-Y-A 2 1064 0.038 38.1
DS-215-I-Y-A 2 1064 3.39 11
DS-025-I-Y-A 2 1064 0.15 27.94
DS-026-I-Y-A 2 1064 0.099 27.94
DS-218-I-Y-A 2 1064 14.38 11
DS-222-I-Y-A 2 1064 2.18 11
DS-223-I-Y-A 2 1064 1.35 27.94
DS-029-I-Y-A 2 1064 0.099 15
TS-269-I-Y-A 3 1064 0.11 25.4
TS-268-I-Y-A 3 1064 0.23 27.94
TS-261-I-Y-A 3 1064 1 25.4
TS-259-I-Y-A 3 1064 0.71 25.4
TS-258-I-Y-A 3 1064 9.21 15
TS-256-I-Y-A 3 1064 0.016 27.94
DS-233-I-Y-A 2 1064 0.68 11
DS-234-I-Y-A 2 1064 5.42 11
DS-235-I-Y-A 2 1064 1.79 27.94
DS-237-I-Y-A 2 1064 18.41 15
DS-033-I-Y-A 2 1064 10.17 25.4
DS-239-I-Y-A 2 1064 2 25.4
DS-241-I-Y-A 2 1064 0.41 25.4
DS-242-I-Y-A 2 1064 0.11 25.4
DS-243-I-Y-A 2 1064 0.084 25.4
TS-255-I-Y-A 3 1064 0.016 25.4
TS-254-I-Y-A 3 1064 0.019 38.1
TS-253-I-Y-A 3 1064 0.038 27.94
TS-252-I-Y-A 3 1064 0.047 20
TS-251-I-Y-A 3 1064 0.059 20
DS-255-I-Y-A 2 1064 0.064 38.1
DS-256-I-Y-A 2 1064 0.45 27.94
DS-257-I-Y-A 2 1064 0.23 25.4
DS-258-I-Y-A 2 1064 0.046 25.4
DS-261-I-Y-A 2 1064 0.14 27.94
TS-250-I-Y-A 3 1064 0.072 20
TS-249-I-Y-A 3 1064 0.073 11
DS-034-I-Y-A 2 1064 0.038 38.1
DS-180-I-Y-A 2 1064 0.032 27.94
MS-226-I-Y-X 5 1064 0.5 25.4
DS-181-I-Y-A 2 1064 0.032 25.4
MS-243-I-Y-A 8 1064 1.48 25.4
MS-244-I-Y-A 10 1064 0.76 25.4
DS-182-I-Y-A 2 1064 0.076 27.94
DS-183-I-Y-A 2 1064 0.076 25.4
MS-257-I-Y-X 51 1064 0.057 25.4
DS-184-I-Y-A 2 1064 0.094 25.4
MS-263-I-Y-A 4 1064 1.5 11
MS-268-I-Y-X 19 1064 0.15 25.4
DS-185-I-Y-A 2 1064 0.14 20
DS-186-I-Y-A 2 1064 0.14 25.4
MS-271-I-Y-X 7 1064 0.7 11
MS-272-I-Y-X 7 1064 0.19 15
DS-187-I-Y-A 2 1064 0.18 27.94
MS-278-I-Y-X 7 1064 0.95 11
MS-279-I-Y-X 7 1064 0.88 11
MS-291-I-Y-X 9 1064 0.11 27.94
MS-298-I-Y-X 7 1064 0.19 15
MS-304-I-Y-A 8 1064 0.045 27.94
TS-248-I-Y-A 3 1064 0.13 38.1
MS-316-I-Y-X 11 1064 1.2 11
MS-320-I-Y-A 8 1064 0.045 25.4
MS-322-I-Y-A 4 1064 3.4 20x20
TS-247-I-Y-A 3 1064 0.15 11
TS-246-I-Y-A 3 1064 0.67 27.94
TS-245-I-Y-A 3 1064 0.67 25.4
MS-331-I-Y-A** 10 1064 0.76 19
MS-332-I-Y-A 4 1064 1 11
DS-002-I-Y-A 2 1064 0.27 27.94
MS-338-I-Y-A 6 1064 0.57 11
TS-244-I-Y-A 3 1064 0.76 11
MS-357-I-Y-A 6 1064 0.21 25.4
TS-243-I-Y-A 3 1064 1.09 11
DS-188-I-Y-A 2 1064 0.18 25.4
TS-238-I-Y-A 3 1064 1.69 11
DS-189-I-Y-A 2 1064 0.5 15
DS-190-I-Y-A 2 1064 0.92 27.94
DS-191-I-Y-A 2 1064 0.92 25.4
DS-192-I-Y-A 2 1064 0.96 27.94
TS-235-I-Y-A 3 1064 2.07 25.4
MS-438-I-Y-X 9 1064 0.11 11
MS-439-I-Y-X 19 1064 0.15 11
MS-454-I-Y-X 15 1064 0.44 20
MS-455-I-Y-X 19 1064 0.38 20
DS-193-I-Y-A 2 1064 0.96 25.4
MS-456-I-Y-X 35 1064 0.17 20
MS-457-I-Y-X 51 1064 0.17 20
MS-453-I-Y-X 9 1064 1.05 25.4
MS-463-I-Y-X 7 1064 0.29 15
TS-233-I-Y-A 3 1064 7.19 11
MS-474-I-Y-A 6 1064 1.2 25.4
DS-194-I-Y-A 2 1064 1.05 27.94
MS-499-I-Y-X 5 1064 1 25.4
MS-501-I-Y-A 6 1064 2.59 25.4
TS-232-I-Y-A 3 1064 0.34 11
TS-230-I-Y-A 3 1064 0.25 15
MS-506-I-Y-A 4 1064 0.5 25.4
MS-512-I-Y-X 33 1064 0.036 25.4
MS-513-I-Y-X 321 1064 0.036 25.4
MS-519-I-Y-X 7 1064 0.14 11
DS-195-I-Y-A 2 1064 1.05 25.4
MS-545-I-Y-A 6 1064 0.054 25.4
TS-224-I-Y-A 3 1064 0.46 20
TS-216-I-Y-A 3 1064 0.46 25.4
TS-213-I-Y-A 3 1064 2.54 11
TS-212-I-Y-A 3 1064 4.36 11
TS-211-I-Y-A 3 1064 3.81 25.4
MS-557-I-Y-X 7 1064 0.047 27.94
MS-560-I-Y-A 4 1064 0.1 38.1
TS-205-I-Y-A 3 1064 0.091 27.94
MS-575-I-Y-A 32 1064 0.26 25.4
MS-579-I-Y-A 6 1064 0.064 38.1
TS-204-I-Y-A 3 1064 2.44 25.4
MS-589-I-Y-X 11 1064 0.57 11
MS-590-I-Y-X 11 1064 0.23 11
MS-592-I-Y-X 11 1064 0.11 11
TS-003-I-Y-A 3 1064 0.068 27.94
TS-004-I-Y-A 3 1064 0.14 27.94
TS-008-I-Y-A 3 1064 1.27 25.4
DS-196-I-Y-A 2 1064 4.13 25.4
DS-197-I-Y-A 2 1064 5.08 11
TS-027-I-Y-A 3 1064 0.076 27.94
TS-028-I-Y-A 3 1064 0.05 27.94
TS-031-I-Y-A 3 1064 5.09 25.4
TS-200-I-Y-A 3 1064 0.53 27.94
TS-201-I-Y-A 3 1064 0.48 27.94
TS-203-I-Y-A 3 1064 0.14 25.4
TS-270-I-Y-A 3 1064 0.023 25.4
MS-364-I-Y-A 4 1064 0.053 38.1
DS-225-I-Y-A 2 1064 3.67 15x15
DS-226-I-Y-A 2 1064 3.39 15x15
DS-227-I-Y-A 2 1064 3.13 15x15
DS-228-I-Y-A 2 1064 2.9 15x15
DS-229-I-Y-A 2 1064 2.71 15x15
DS-230-I-Y-A 2 1064 2.44 15x15
MS-542-I-Y-X 131 1064 0.062 10x10
MS-505-I-Y-X 85 1064 0.25 20x20
MS-502-I-Y-A 6 1064 2.59 20x20
MS-021-I-Y-X 15 1064 0.044 25.4
MS-408-I-Y-A 12 1064 2.44 15x15
TS-236-I-Y-A 3 1064 1.83 15x15
TS-237-I-Y-A 3 1064 1.69 15x15
MS-396-I-Y-X 9 1064 0.03 25.4
TS-239-I-Y-A 3 1064 1.56 15x15
TS-240-I-Y-A 3 1064 1.45 15x15
TS-241-I-Y-A 3 1064 1.35 15x15
TS-242-I-Y-A 3 1064 1.22 15x15
MS-022-I-Y-X 15 1064 0.028 25.4
MS-355-I-Y-A 4 1064 1.33 20x20
MS-307-I-Y-A 4 1064 5.11 20x20
MS-323-I-Y-X 5 1064 0.046 25.4
MS-327-I-Y-X 11 1064 1.52 9.8x9.8
MS-327-I-Y-S 11 1064 1.52 9.8x9.8
MS-572-I-Y-X 5 1064 0.42 17x17
MS-473-I-Y-A 6 1064 2.43 12.7x12.7
DS-252-I-Y-A 2 1064 2.54 14x14
DS-251-I-Y-A 2 1064 2.71 14x14
DS-250-I-Y-A 2 1064 3.05 14x14
DS-249-I-Y-A 2 1064 3.21 14x14
MS-580-I-Y-X 15 1064 0.54 17x17
MS-548-I-Y-X 7 1064 0.14 14x20
TS-220-I-Y-A 3 1064 7.64 9.8x9.8
MS-549-I-Y-A 8 1064 0.5 14x20
MS-551-I-Y-A 10 1064 0.3 14x14
MS-555-I-Y-X 5 1064 0.54 17x17
MS-556-I-Y-X 11 1064 0.54 17x17
DS-248-I-Y-A 2 1064 3.59 14x14

2维点阵分束器

型号 点数 波长[nm] 发散角[deg] 元件大小 [mm]
MS-288-I-Y-A 3x7 1064 1.27x0.42 25.4
MS-377-I-Y-L 9x9 1064 0.50x0.50 20
MS-027-I-Y-L 9x9 1064 0.50x0.50 25.4
MS-027-I-Y-N 9x9 1064 0.50x0.50 25.4
MS-030-I-Y-A 2x2 1064 1.00x1.00 25.4
MS-049-I-Y-A 7x7 1064 0.70x0.70 25.4
MS-201-I-Y-A 7x7 1064 0.70x0.70 11
MS-202-I-Y-A 4x4 1064 1.39x1.39 25.4
MS-203-I-Y-A 2x2 1064 4.00x4.00 25.4
MS-204-I-Y-A 2x2 1064 0.25x0.25 25.4
MS-211-I-Y-A 7x7 1064 0.19x0.19 25.4
MS-215-I-Y-A 5x5 1064 1.00x1.00 11
MS-216-I-Y-A 4x4 1064 1.39x1.39 11
MS-231-I-Y-A 7 1064 0.23x0.13 25.4
MS-237-I-Y-A 7x7 1064 2.11x2.11 11
MS-254-I-Y-A 9x9 1064 0.21x0.21 25.4
MS-261-I-Y-A 3x3 1064 0.57x0.57 11
MS-267-I-Y-A 4x4 1064 0.94x0.94 25.4
MS-285-I-Y-A 3x3 1064 1.27x1.27 25.4
MS-286-I-Y-A 3x4 1064 1.27x0.85 25.4
MS-287-I-Y-A 3x5 1064 1.27x0.64 25.4
MS-027-I-Y-A 9x9 1064 0.50x0.50 25.4
MS-289-I-Y-A 5x5 1064 2.20x2.20 11
MS-290-I-Y-A 5x5 1064 2.61x2.61 11
MS-299-I-Y-A 7x7 1064 2.11x2.11 25.4
MS-305-I-Y-X 5x5 1064 0.64x0.64 25.4
MS-306-I-Y-A 5x6 1064 0.64x0.51 25.4
MS-341-I-Y-A 4x4 1064 0.85x0.85 50
MS-342-I-Y-A 7x7 1064 1.40x1.40 11
MS-377-I-Y-A 9x9 1064 0.50x0.50 20
MS-377-I-Y-A 9x9 1064 0.50x0.50 20
MS-025-I-Y-A 5x5 1064 1.00x1.00 25.4
MS-377-I-Y-N 9x9 1064 0.50x0.50 20
MS-476-I-Y-A 7x7 1064 2.11x2.11 15
MS-429-I-Y-A 5x5 1064 1.00x1.00 18
MS-429-I-Y-L 5x5 1064 1.00x1.00 18
MS-429-I-Y-N 5x5 1064 1.00x1.00 18
MS-430-I-Y-A 9x9 1064 0.50x0.50 18
MS-430-I-Y-L 9x9 1064 0.50x0.50 18
MS-430-I-Y-N 9x9 1064 0.50x0.50 18
MS-516-I-Y-S 10x10 1064 0.93x0.93 14.1x14.1
MS-500-I-Y-S 10x10 1064 0.93x0.93 20
MS-254-I-Y-X 9x9 1064 0.21x0.21 25.4
MS-201-I-Y-X 7x7 1064 0.70x0.70 11
MS-254-I-Y-N 9x9 1064 0.21x0.21 25.4
MS-259-I-Y-X 9x9 1064 0.12x0.12 15
MS-260-I-Y-A 4x4 1064 0.57x0.57 11
MS-261-I-Y-X 3x3 1064 0.57x0.57 11
MS-211-I-Y-X 7x7 1064 0.19x0.19 25.4
MS-027-I-Y-X 9x9 1064 0.50x0.50 25.4
MS-273-I-Y-X 7x7 1064 0.70x0.70 25.4
MS-274-I-Y-X 9x9 1064 0.50x0.50 25.4
MS-277-I-Y-X 19x19 1064 0.12x0.12 25.4
MS-280-I-Y-X** 3x3 1064 0.36x0.36 19
MS-281-I-Y-X** 9x9 1064 0.50x0.50 19
MS-284-I-Y-X 3x3 1064 0.36x0.36 11
MS-285-I-Y-X 3x3 1064 1.27x1.27 25.4
MS-212-I-Y-X 15x15 1064 0.50x0.50 25.4
MS-286-I-Y-X 3x4 1064 1.27x0.85 25.4
MS-215-I-Y-X 5x5 1064 1.00x1.00 11
MS-287-I-Y-X 3x5 1064 1.27x0.64 25.4
MS-201-I-Y-L 7x7 1064 0.70x0.70 11
MS-288-I-Y-X 3x7 1064 1.27x0.42 25.4
MS-201-I-Y-N 7x7 1064 0.70x0.70 11
MS-289-I-Y-X 5x5 1064 2.20x2.20 11
MS-217-I-Y-X 5x5 1064 1.94x1.94 11
MS-290-I-Y-X 5x5 1064 2.61x2.61 11
MS-218-I-Y-X 9x9 1064 0.50x0.50 11
MS-292-I-Y-X 9x9 1064 0.061x0.061*** 27.94
MS-299-I-Y-X 7x7 1064 2.11x2.11 25.4
MS-220-I-Y-X 5x5 1064 1.39x1.39 11
MS-300-I-Y-A 8x8 1064 0.57x0.57 11
MS-303-I-Y-X 5x5 1064 2.20x2.20 10
MS-221-I-Y-X 7x7 1064 0.19x0.19 15
MS-306-I-Y-X 5x6 1064 0.64x0.51 25.4
MS-225-I-Y-X 9x9 1064 0.12x0.12 15
MS-319-I-Y-A 2x2 1064 13.58x13.58 25.4
MS-321-I-Y-X 5x5 1064 3.23x3.23 11
MS-583-I-Y-X 15x15 1064 0.50x0.50 25.4
MS-581-I-Y-X 3x3 1064 0.57x0.57 15
MS-576-I-Y-A 2x2 1064 0.50x0.50 25.4
MS-573-I-Y-X 29x29 1064 0.0075x0.0075 34
MS-337-I-Y-X 77 1064 5.73x5.73*** 11
MS-339-I-Y-X 3 1064 0.35x0.47 25.4
MS-340-I-Y-X 21x21 1064 0.080x0.080 11
MS-229-I-Y-X 5x5 1064 0.30x0.30 15
MS-342-I-Y-X 7x7 1064 1.40x1.40 11
MS-231-I-Y-X 7 1064 0.23x0.13 25.4
MS-353-I-Y-A 16x16 1064 0.33x0.33 12.5
MS-354-I-Y-A 2x2 1064 0.50x0.50 11
MS-356-I-Y-X 12 1064 9.15x9.15*** 25.4
MS-358-I-Y-X 9x9 1064 1.09x1.09 11
MS-359-I-Y-X 11x11 1064 0.10x0.10 11
MS-360-I-Y-X 99x99 1064 0.10x0.10 11
MS-571-I-Y-X 7x7 1064 0.074x0.074 25.4
MS-567-I-Y-A 2x2 1064 0.29x0.29 11
MS-367-I-Y-X 21x21 1064 0.090x0.090 11
MS-566-I-Y-A 2x2 1064 0.68x0.68 11
MS-376-I-Y-X 9x9 1064 0.21x0.21 20
MS-377-I-Y-X 9x9 1064 0.50x0.50 20
MS-049-I-Y-X 7x7 1064 0.70x0.70 25.4
MS-232-I-Y-X 9x9 1064 0.15x0.15 15
MS-235-I-Y-X 5x5 1064 2.68x2.68 11
MS-587-I-Y-X 7 1064 0.23x0.13 20
MS-382-I-Y-A 2x2 1064 7.63x7.63 25.4
MS-383-I-Y-X 76 1064 0.50x0.50 25.4
MS-384-I-Y-A 8x8 1064 0.57x0.57 25.4
MS-386-I-Y-X 5 1064 13.58x13.58 25.4
MS-387-I-Y-X 9x9 1064 0.50x0.50 15
MS-388-I-Y-X 76 1064 0.50x0.50 11
MS-393-I-Y-X 9x9 1064 0.70x0.70 11
MS-394-I-Y-X 9x9 1064 0.19x0.19 11
MS-395-I-Y-X 37 1064 0.19x0.33 15
MS-397-I-Y-A 16x16 1064 0.33x0.33 25.4
MS-402-I-Y-X 11x11 1064 0.32x0.32 11
MS-403-I-Y-X 11x11 1064 0.32x0.32 11
MS-565-I-Y-A 2x2 1064 1.52x1.52 11
MS-562-I-Y-A 2x2 1064 0.41x0.41 25.4
MS-409-I-Y-A 10x10 1064 0.93x0.93 18
MS-410-I-Y-A** 18x18 1064 0.49x0.49 19
MS-561-I-Y-A 2x2 1064 2.00x2.00 25.4
MS-550-I-Y-X 3x5 1064 2.67x2.01 25.4
MS-546-I-Y-A 2x2 1064 7.96x7.96 25.4
MS-414-I-Y-X 15x15 1064 0.50x0.50 11
MS-415-I-Y-A 6x6 1064 0.40x0.40 11
MS-416-I-Y-X 3 1064 0.90x1.04 11
MS-544-I-Y-X 7x7 1064 0.70x0.70 15
MS-237-I-Y-X 7x7 1064 2.11x2.11 11
MS-476-I-Y-X 7x7 1064 2.11x2.11 15
MS-426-I-Y-A 6x6 1064 1.15x1.15 11
MS-427-I-Y-A 6x6 1064 0.80x0.80 11
MS-429-I-Y-X 5x5 1064 1.00x1.00 18
MS-025-I-Y-X 5x5 1064 1.00x1.00 25.4
MS-586-I-Y-A 4x4 1064 2.90x2.90 11
MS-239-I-Y-X 9x9 1064 0.21x0.21 11
MS-430-I-Y-X 9x9 1064 0.50x0.50 18
MS-240-I-Y-A 2x2 1064 13.58x13.58 11
MS-241-I-Y-A 8x8 1064 1.09x1.09 25.4
MS-585-I-Y-X 3x3 1064 0.30x0.30 25.4
MS-434-I-Y-X 5 1064 1.00x1.00 25.4
MS-437-I-Y-X 5x4 1064 0.98x1.01 25.4
MS-440-I-Y-X 19x19 1064 0.12x0.12 11
MS-441-I-Y-X 13x13 1064 0.33x0.33 11
MS-443-I-Y-X 3x3 1064 0.060x0.060 25.4
MS-443-I-Y-N 3x3 1064 0.060x0.060 25.4
MS-444-I-Y-X 2x3 1064 0.90x0.52 11
MS-445-I-Y-A 2x2 1064 1.42x1.42 25.4
MS-446-I-Y-A 8x8 1064 1.09x1.09 20
MS-452-I-Y-X 3x11 1064 0.033x0.11 25.4
MS-458-I-Y-X 3x3 1064 0.50x0.50 25.4
MS-459-I-Y-A 4x4 1064 1.94x1.94 25.4
MS-460-I-Y-A 6x8 1064 0.50x0.50 25.4
MS-461-I-Y-X 15x15 1064 0.31x0.31 11
MS-462-I-Y-X 5x33 1064 1.18x0.59 11
MS-249-I-Y-X 9x9 1064 0.50x0.50 27.94
MS-516-I-Y-A 10x10 1064 0.93x0.93 14.1x14.1
MS-471-I-Y-X 3 1064 2.60x3.00 20
MS-472-I-Y-X 2x3 1064 2.60x1.50 20
MS-515-I-Y-X 32 1064 5.00x5.00*** 11
MS-478-I-Y-A 2x2 1064 2.77x2.77 11
MS-479-I-Y-A 8x8 1064 0.69x0.69 11
MS-480-I-Y-X 3 1064 0.18x0.21 25.4
MS-500-I-Y-A 10x10 1064 0.93x0.93 20
MS-250-I-Y-X 37 1064 0.16x0.092 25.4
MS-514-I-Y-X 31x31 1064 0.17x0.17 11
MS-591-I-Y-A 6x6 1064 0.23x0.23 11
MS-504-I-Y-A 16x16 1064 0.20x0.20 20x20
MS-477-I-Y-A 4x4 1064 0.21x0.21 25.4
MS-465-I-Y-X 25x25 1064 0.016x0.016 14.1x14.1
MS-464-I-Y-X 13x13 1064 0.015x0.015 14.1x14.1
MS-424-I-Y-X 61x61 1064 18.37x18.37*** 2.45x2.45
MS-423-I-Y-X 41x41 1064 18.41x18.41*** 2.45x2.45
MS-532-I-Y-A 128x128 1064 0.24x0.24 10x10
MS-534-I-Y-A 64x64 1064 0.044x0.044 10x10
MS-536-I-Y-A 10x10 1064 1.87x1.87 14.1x14.1
MS-541-I-Y-A 64x64 1064 0.066x0.066 10x10
MS-422-I-Y-X 21x21 1064 18.38x18.38*** 2.45x2.45
MS-413-I-Y-A 64x64 1064 0.48x0.48 10x10
MS-412-I-Y-A 128x64 1064 0.060x0.033 10x10
MS-236-I-Y-X 5x5 1064 2.68x2.68 11x11
MS-553-I-Y-A 2x2 1064 9.21x9.21 25.4x25.4
MS-238-I-Y-X 7x7 1064 2.11x2.11 11x11
MS-559-I-Y-A 2x2 1064 28.52x28.52 20x20
MS-411-I-Y-A 128x64 1064 0.16x0.16 10x10
MS-503-I-Y-A 2x2 1064 8.72x8.72 20x20
MS-563-I-Y-A 2x2 1064 1.41x1.41 25.4
MS-564-I-Y-A 2x2 1064 0.29x0.29 25.4
MS-404-I-Y-X 81x81 1064 18.37x18.37*** 2.5x2.5
MS-375-I-Y-A 10x10 1064 0.069x0.069 25.4
MS-363-I-Y-X 101x101 1064 40.66x40.66*** 10x10
MS-568-I-Y-A 2x2 1064 1.08x1.08 11
MS-569-I-Y-A 2x2 1064 0.48x0.48 11
MS-570-I-Y-A 2x2 1064 0.21x0.21 11
MS-362-I-Y-X 3x3 1064 3.27x5.68 33x33
MS-324-I-Y-X 5x5 1064 3.81x2.87 9.8x9.8
MS-574-I-Y-A 2x2 1064 0.35x0.35 15
MS-326-I-Y-X 3x3 1064 7.64x5.75 9.8x9.8
MS-325-I-Y-A 4x4 1064 5.08x3.81 9.8x9.8
MS-405-I-Y-X 119x119 1064 18.37x18.37*** 2.5x2.5
MS-578-I-Y-X 11x11 1064 0.26x0.26 5x5
MS-328-I-Y-X 19x13 1064 0.85x0.95 9.8x9.8
MS-246-I-Y-X 29x29 1064 1.43x1.43 25.7x25.7
MS-558-I-Y-A 2x2 1064 28.52x28.52 20x20
MS-552-I-Y-X 3x5 1064 2.67x2.01 22x22

客户定制点阵分束器

型号 点数 波长[nm] 发散角 [deg] 元件大小 [mm] 备注
MS-231-I-Y-A 7 1064 0.23x0.13 25.4 六边形
MS-231-I-Y-X 7 1064 0.23x0.13 25.4 六边形
MS-250-I-Y-X 37 1064 0.16x0.092 25.4 六边形
MS-292-I-Y-X 9x9 1064 0.061x0.061*** 27.94 边框形
MS-514-I-Y-X 31x31 1064 0.17x0.17 11 圆形
MS-337-I-Y-X 77 1064 5.73x5.73*** 11  
MS-339-I-Y-X 3 1064 0.35x0.47 25.4 三角形
MS-356-I-Y-X 12 1064 9.15x9.15*** 25.4 圆形
MS-480-I-Y-X 3 1064 0.18x0.21 25.4 三角形
MS-383-I-Y-X 76 1064 0.50x0.50 25.4 六边形点格
MS-386-I-Y-X 5 1064 13.58x13.58 25.4  方格形
MS-388-I-Y-X 76 1064 0.50x0.50 11 六边形点格
MS-395-I-Y-X 37 1064 0.19x0.33 15 六边形
MS-515-I-Y-X 32 1064 5.00x5.00*** 11 圆形
MS-471-I-Y-X 3 1064 2.60x3.00 20 三角形
MS-416-I-Y-X 3 1064 0.90x1.04 11 三角形
MS-434-I-Y-X 5 1064 1.00x1.00 25.4 方格形
MS-423-I-Y-X 41x41 1064 18.41x18.41*** 2.45x2.45  
MS-424-I-Y-X 61x61 1064 18.37x18.37*** 2.45x2.45  
MS-422-I-Y-X 21x21 1064 18.38x18.38*** 2.45x2.45  
MS-464-I-Y-X 13x13 1064 0.015x0.015 14.1x14.1 圆形
MS-465-I-Y-X 25x25 1064 0.016x0.016 14.1x14.1 圆形
MS-405-I-Y-X 119x119 1064 18.37x18.37*** 2.5x2.5  
MS-363-I-Y-X 101x101 1064 40.66x40.66*** 10x10  
MS-503-I-Y-A 2x2 1064 4.36x4.36 20x20 强度 100/50
MS-404-I-Y-X 81x81 1064 18.37x18.37*** 2.5x2.5  
MS-328-I-Y-X 19x13 1064 0.85x0.95 9.8x9.8 十字形

二元相位光栅 – 衍射光栅

二元相位光栅为占空比为50%一维透射光栅

周期 [um] 长度/mm 周期 [um] 长度/mm
2 500 450 2.222
4 250 478.25 2.091
6 166.667 673.125 1.486
8 125 800 1.25
11.25 88.889 830 1.205
12 83.333 848 1.179
14 71.429 847.875 1.179
16 62.5 890 1.124
18 55.556 1230 0.813
19 52.632 1598 0.626
22.5 44.444 1907 0.524
24 41.667 3231 0.31
25 40 3869 0.258
25.75 38.835 56 17.857
27 37.037 61 16.393
29.5 33.898 80 12.5
33.25 30.075 86 11.628
36 27.778 90.375 11.065
39 25.641 115.75 8.639
42 23.81 132.5 7.547
45 22.222 225 4.444
47 21.277 243 4.115
48 20.833 415 2.41
50 20    

漩涡镜

漩涡镜(螺旋相位板)是一种由螺旋结构构成的特殊光学元件,可改变透射光束的相结构,将高斯入射激光束转变成圆环光斑。

漩涡镜

型号 波长[nm] 元件大小 [mm] 效率效率[%] 拓扑电荷数* 外环大小 [um]
VL-209-I-Y-A 1064 25.4 95 1 54.73
VL-215-I-Y-A 1064 25.4 95 3 111.36
VL-216-I-Y-A 1064 25.4 95 2 81.55
VL-217-I-Y-A 1064 25.4 90 1 54.73
VL-218-I-Y-A 1064 25.4 92 4 142.79
VL-227-I-Y-A 1064 11 92 3 111.36
VL-204-I-Y-A 1064 11 92 1 54.73
VL-214-I-Y-A 1064 25.4 95 1 54.73
VL-208-I-Y-A 1064 25.4 92 1 54.73
VL-219-I-Y-A 1064 25.4 95 3 111.36
VL-220-I-Y-A 1064 25.4 95 2 81.55
VL-221-I-Y-A 1064 25.4 37*** 1 54.73
VL-222-I-Y-A 1064 25.4 37*** 1 54.73
VL-224-I-Y-A 1064 25.4 37*** 1 54.73
VL-225-I-Y-A 1064 25.4 92 6 209.44
VL-226-I-Y-A 1064 11 95 3 111.36
VL-206-I-Y-A 1064 11 95 1 54.73
VL-228-I-Y-A 1064 11 92 6 209.44
VL-229-I-Y-A 1064 11 92 2 81.55
VL-230-I-Y-A 1064 25.4 95 6 209.44
VL-231-I-Y-A 1064 25.4 95 4 142.79
VL-232-I-Y-A 1064 11 95 6 209.44
VL-233-I-Y-A 1064 11 95 12 411.57
VL-234-I-Y-A 1064 11 95 2 81.55
VL-235-I-Y-A 1064 11 95 4 142.79
VL-236-I-Y-A 1064 25.4 95 12 411.57
VL-237-I-Y-A 1064 11 92 5 175.3
VL-238-I-Y-A 1064 11 95 5 175.3
VL-239-I-Y-A 1064 25.4 92 12 411.57
VL-240-I-Y-A 1064 11 92 12 411.57
VL-241-I-Y-A 1064 25.4 92 8 276.09
VL-242-I-Y-A 1064 11 92 8 276.09
VL-243-I-Y-A 1064 11 92 4 142.79

*拓扑电荷数由长度单位来表征,指的是衍射面波前在一定距离内转变360°的数量。拓扑电荷越大,波前角动量转变越快,圆环光强分布尺寸就越大。

多焦点透镜

多焦点衍射光学元件由平凸聚焦镜和依附于其平面上的衍射元件构成,可将单个入射光斑同时聚焦于多个固定的焦平面上。多焦点透镜可作为准细长聚焦元件,增加聚焦深度,应用于玻璃激光切割和微加工领域。

多焦点透镜

型号 波长[nm] 焦点数 元件大小[mm] 焦点平均间距 [um]
BF-005-I-Y-A 1064 2 25.4 598
MF-001-I-Y-A 1064 5 15 112.8
MF-002-I-Y-A 1064 7 25.4 95.3
MF-005-I-Y-A 1064 4 11 549
MF-006-I-Y-A 1064 15 11 610.4
MF-007-I-Y-A 1064 5 11 146.6
BF-006-I-Y-A 1064 2 11 1995
BF-014-I-Y-A 1064 2 11 301
BF-015-I-Y-A 1064 2 25.4 31
TF-008-I-Y-A 1064 3 11 535.7
MF-003-I-Y-A 1064 9 15 68.5
MF-004-I-Y-A 1064 11 25.4 121.3
TF-004-I-Y-A 1064 3 11 150.5
TF-005-I-Y-A 1064 3 25.4 15.5
TF-010-I-Y-A 1064 3 11 667.4
TF-011-I-Y-A 1064 3 11 414.7
MF-009-I-Y-A 1064 6 15 94.5
MF-011-I-Y-A 1064 5 11 238.1
MF-012-I-Y-A 1064 15 25.4 125.6
MF-013-I-Y-A 1064 5 11 192.3
TF-012-I-Y-A 1064 3 11 226
BF-021-I-Y-A 1064 2 38.1 5429.9
BF-016-I-Y-A 1064 2 25.4 13.3
BF-008-I-Y-A 1064 2 11 1071.5
BF-017-I-Y-A 1064 2 11 1334.8
BF-018-I-Y-A 1064 2 11 829.4
BF-019-I-Y-A 1064 2 11 452
TF-003-I-Y-A 1064 3 25.4 299
TF-009-I-Y-A 1064 3 11 997.5
BF-020-I-Y-A 1064 2 11 1602.6
MF-008-I-Y-A 1064 5 15 112.8

光束采样器

在大多数应用中,希望在不干扰0级光传输的情况下得到一个小功率的高级衍射采样激光,结合激光探测器,实现激光功率和相位的实时测量。衍射光束采样器用于高功率激光采样测量,采样光束具有较小的光学损耗和波前畸变。激光经过衍射采样器,绝大部分能量会沿着原来的方向继续传播(0级光),而在0级光两侧形成小功率的衍射激光(-1级和+1级)。衍射光的分散角可以根据用户要求定制。

光束采样器

型号 波长[nm] 采样能量 [%] 采样角 [deg] 元件大小 [mm]
SA-010-I-Y-A 1064 0.4 15.43 12x12
SA-014-I-Y-A 1064 0.4 15.43 25.4
SA-022-I-Y-A 1064 1.22 2.07 25.4
SA-220-I-Y-A 1064 0.5 10.21 11
SA-020-I-Y-A 1064 1 1.27 27.94
SA-021-I-Y-A 1064 1 1 25.4
SA-219-I-Y-A 1064 0.5 2.44 25.4
SA-204-I-Y-A 1064 0.5 2.07 25.4
SA-206-I-Y-A 1064 1 2.07 25.4
SA-207-I-Y-A 1064 2 10 15
SA-218-I-Y-A 1064 0.5 1 25.4
SA-217-I-Y-A 1064 0.5 2.84 25.4
SA-216-I-Y-A 1064 0.5 3.81 25.4
SA-213-I-Y-A 1064 0.5 9.21 15
SA-215-I-Y-A 1064 0.5 5.09 25.4
SA-208-I-Y-A 1064 2 5.09 15
SA-211-I-Y-A 1064 1 20.77 10x10
SA-209-I-Y-A 1064 3.8 15.43 10.7x10.7
SA-011-I-Y-A 1064 1.6 15.43 12x12
SA-012-I-Y-A 1064 3.8 15.43 12x12
SA-214-I-Y-A 1064 0.5 7.64 9.8x9.8

环生成器

环生成器可将入射激光转变成单个或多个圆环,圆环厚度等于衍射极限下的光斑大小,可应用于3D测绘领域。我们除了提供标准产品外,还可根据圆环数,圆环分离角等参数进行定制。

环生成器

单环生成器

型号 波长[nm] 元件大小 [mm] 环发散角 [deg] 圆环直径[mm]*
DA-004-I-Y-A 1064 25.4 8.14 14.231
DA-011-I-Y-A 1064 25.4 0.061 0.106
DA-003-I-Y-A 1064 25.4 0.3 0.524
DA-017-I-Y-A** 1064 34 1.52 2.653
DA-006-I-Y-A 1064 11 0.24 0.419
DA-032-I-Y-A 1064 25.4 3.6 6.285
DA-008-I-Y-A 1064 11 0.49 0.855
DA-009-I-Y-A 1064 11 0.98 1.71
DA-010-I-Y-A 1064 25.4 0.081 0.141
DA-033-I-Y-A 1064 25.4 7.2 12.583
DA-012-I-Y-A 1064 11 2 3.491
DA-031-I-Y-A 1064 25.4 1.8 3.142
DA-014-I-Y-A** 1064 34 0.19 0.332
DA-015-I-Y-A** 1064 34 0.38 0.663
DA-016-I-Y-A** 1064 34 0.76 1.326
DA-005-I-Y-A 1064 11 0.12 0.209
DA-018-I-Y-A 1064 11 1.72 3.002
DA-019-I-Y-A 1064 11 2.29 3.997
DA-020-I-Y-A 1064 11 0.057 0.099
DA-021-I-Y-A 1064 11 0.086 0.15
DA-029-I-Y-A 1064 11 1.39 2.426
DA-028-I-Y-A 1064 11 0.7 1.222
DA-027-I-Y-A 1064 11 0.35 0.611
DA-026-I-Y-A 1064 11 0.17 0.297
DA-025-I-Y-A 1064 11 0.35 0.611
DA-024-I-Y-A 1064 11 0.17 0.297
DA-023-I-Y-A 1064 11 0.24 0.419
DA-013-I-Y-A 1064 34 0.19 0.332
DA-007-I-Y-A 1064 11 0.12 0.209
DA-002-I-Y-A 1064 7.25x7.25 30.85 55.183

*焦距100mm

同心圆生成器

型号 波长(nm) 环数 全角(Deg) 尺寸(mm) 材料 镀膜
MC-006-I-Y-A 1064 2 1.83 11 熔融石英 V 减反膜
MC-005-I-Y-A 1064 2 3.66 11 熔融石英 V 减反膜
MC-017-1-Y-A 808 12 5.9 11 熔融石英 V 减反膜

双波长聚焦镜

双波长聚焦镜由平凸镜和衍射元件组成,可将不同波长的两束入射光聚焦于相同的焦点。例如,双波长聚焦镜可以消除CO2激光和可见光之间的色差,将两束光聚焦于同一焦点。

通过衍射元件可将He-Ne激光与CO2激光同时聚焦于一点

两种波长的光束通过一般光学透镜时聚焦于不同的两个点

带有衍射图案的透镜可将不同波长的光束聚焦于同一点

双波长聚焦镜

型号 波长(nm) 入射光斑大小 @633nm(mm) 工作距离(mm) 元件直径(mm) 材料 镀膜
DW-201-AP-Y-A 10600, 633 4-8.8 125 15 ZnSe V减反膜
DW-208-AP-Y-A 10600, 633 4-13.3 100 38.1 ZnSe V减反膜
DW-202-AP-Y-A 10600, 633 4-12 20 19 ZnSe V减反膜

电介质模块

在玻璃基质上镀上极薄(~1um)的一层反射膜图案就构成了电介质模块,其中有镀膜的部分将反射入射光,在不镀膜的地方入射光通过。在近场,光形状非常接近镀膜图案,而在远场位置会出现一些衍射模式,如果在电介质模块后加入一个镜片,就可以使相平面上的衍射减到无法察觉。电介质模块可用于缩小光束整形器后光斑过渡区的大小。

型号 直径(mm) 孔径大小(um) 孔径形状 材料
DM-017 85 50.075 方形 熔融石英
DM-010 25.4 5680 圆形 熔融石英
DM-004 25.4 1750 方形 熔融石英
DM-009 25.4 6200 圆形 熔融石英
DM-019 25.4 300 方形 熔融石英
DM-007 25.4 10838 圆形 熔融石英
DM-006 25.4 7000 方形 熔融石英
DM-005 25.4 3500 方形 熔融石英
DM-008 20 8428 圆形 熔融石英
DM-016 11 5400 圆形 熔融石英
DM-015 11 3000 圆形 熔融石英
DM-014 11 4214.9 圆形 熔融石英
DM-013 11 2408 圆形 熔融石英
DM-012 11 3612 圆形 熔融石英
DM-011 11 4817 圆形 熔融石英
DM-003 11 165 方形 熔融石英
DM-002 11 65 方形 熔融石英

衍射光学调谐器

衍射光学调谐器的波长范围为266nm-1064nm,能改变光斑的大小,发散角等参数,多与平顶分布整形器、匀束器和多点分束器等衍射光学元件结合使用。

衍射光学调谐器

衍射光学调谐器特性

  • 小的波前畸变
  • 0.8-1.2倍到光束放大倍数
  • 无需改变模块方向
  • 滑动镜头
  • 恒定的机械尺寸
  • 熔融石英材质
  • 23mm入射/出射孔径
  • 模块长度120mm
  • 最大输入光斑:8.4mm(0.8倍),7.0mm(1.2倍)
  • 最大输出光斑8.4mm
  • 最大入射角0.5°
  • 波长范围:266-1064nm(可定制其他波长)

衍射光学调谐器的不同配置

1、将调谐器放置在衍射光学元件前面

  • 目的:微调入射光束参数
  • 应用:平顶光束整形器--达到名义光斑尺寸
  • 光束分束器,多波长聚焦镜和螺旋相位板--控制光斑大小

前置衍射光学调谐器

2、后置衍射光学调谐器

目的:控制输出光束发散角,关键参数调节范围80-120%

应用:

  • 多光束分束器 – 控制分离角
  • 多焦点聚焦– 控制焦点间距
  • 平顶整形器和匀化器–控制像的大小

后置衍射光学调谐器

衍射除噪模块

衍射除噪模块由6个镜片和中间的孔或挡板组成,主要用于消除多光斑系统中多余光斑或匀化系统中的寄生光。衍射除噪器可根据用户的参数要求制作特别的孔位或挡板。

模块参数

  • 最大输入光斑:12mm
  • 最大全圆角(12mm入射光斑):5度
  • 输入光斑小于12mm时全圆角大于5度
  • 模块长度:90mm(不包括衍射光学元件和聚焦镜)
  • 模块输出端外径:30.5mm(镜片直径25.4mm)
  • 镜片材料:N-SF11

聚焦模块

聚焦模块用于光束整形器中,可以实现高精度无球差聚焦。聚焦模块由5个镜片组成,能工作在355nm波长领域,在模块后焦距平面内得到平顶分布输出。我们可以按照客户要求定制不同工作波长和聚焦距离的聚焦模块。

特性

  • 无像差模块
  • 聚焦距离:30-50mm
  • 波长(最佳):355nm
  • 材料:熔融石英
  • 最大光斑输入:12mm
  • 选项:目镜修正圈

不同聚焦元件仿真结果对比(面积100x100µm2)

型号 聚焦距离 (mm) 输出孔径 (mm) 最大输入光斑(mm) 材料 模块长度(mm)
ST-001-U 50 45 12 熔融石英 38.5
ST-002-U 30 45 12 熔融石英 31

衍射扩束器

衍射扩束器能以一定倍数增加或减少衍射元件出射光的发散角和大小,相对于标准扩束器,衍射扩束器由于考虑了光束整形、光束分束和光束聚焦的特点,极大的减小了输出的光束的畸变。衍射扩束器可运用于以下应用

  1. 将衍射扩束器与衍射元件结合起来能实现单原件无法实现的综合功能。
  2. 将衍射扩束器与固定发散角的标准、半标准或在售的衍射元件结合使用,可快速改变其发散角,从而能够节约成本并快速交付。
  3. 我们也可以通过客户的要求定制衍射扩束器。

技术参数

材料 熔融石英
透过率 ≥ 97%
固定放大倍数 x5 and x9.4
可搭配衍射元件 光束分束器,匀化器,平顶整形器,螺旋相位板,衍射锥镜,圆环生成器
最佳搭配 方形整形器
波长范围 266nm to 1550nm

典型设置

型号 放大倍数 最大输入输出孔径(mm) 最大输入光斑 (mm) 最大入射角 (deg) 模块长度 模块外直径
DOE_Expander_x10 x9.4 23 14 3 130 35
DOE_Expander_x5 x5 23 14 3 110 35

用户解决方案

消色散衍射元件

在多波长聚焦中,一般的折射透镜在不同波长间都存在一定的色散,而带有衍射面的能有效的较少不同波长之间的色散,使不同波长的光聚焦于同一位置。

衍射小透镜阵列

衍射小透镜阵列由集成于基片上微型衍射镜组成,可以用于衍射、聚焦和取样,具有100% 的填充因子,远远高于折射小透镜阵列。另外,我们也提供1维微型透镜阵列。

波前校正

衍射光学元件可以用于校正光束波前,使其形成特定的波前分布。

衍射透镜和波带透镜[ZPL]

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